SiC लेपित ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर

सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी योग्य पर्याय आहे ज्यासाठी अपवादात्मक उष्णता वितरण आणि थर्मल चालकता आवश्यक आहे. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग आणि उच्च घनता उत्कृष्ट संरक्षण आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, अगदी सर्वात आव्हानात्मक वातावरणात देखील विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.

आमचा SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर हे थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.

आमच्या SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरचे पॅरामीटर्स

SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.