MOCVD साठी Semicorex SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स हे सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरले जाणारे उच्च दर्जाचे वाहक आहेत. आमचे उत्पादन उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइडसह डिझाइन केलेले आहे जे उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि दीर्घकाळ टिकणारी टिकाऊपणा प्रदान करते. हे वाहक वेफर चिपवर एपिटॅक्सियल लेयर वाढवण्याच्या प्रक्रियेत वापरण्यासाठी आदर्श आहे.
आमच्या MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्समध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता आहे जी अत्यंत वातावरणातही उत्तम स्थिरता सुनिश्चित करते.
MOCVD साठी या SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्सची वैशिष्ट्ये उत्कृष्ट आहेत. हे ग्रेफाइटवर उच्च-शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपसह बनविलेले आहे, जे 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात ऑक्सिडेशनसाठी अत्यंत प्रतिरोधक बनवते. त्याच्या निर्मितीमध्ये वापरण्यात येणारी CVD रासायनिक वाष्प जमा करण्याची प्रक्रिया उच्च शुद्धता आणि उत्कृष्ट गंज प्रतिकार सुनिश्चित करते. वाहकाची पृष्ठभाग दाट असते, त्यात सूक्ष्म कण असतात जे त्याचा गंज प्रतिकार वाढवतात, ज्यामुळे ते आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना प्रतिरोधक बनवते.
MOCVD साठी आमचे SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स एक समान थर्मल प्रोफाइल सुनिश्चित करतात, सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्नची हमी देतात. हे कोणत्याही दूषिततेला किंवा अशुद्धींना वेफरमध्ये पसरण्यापासून प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे ते क्लीनरूम वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनते. सेमीकोरेक्स हा चीनमधील SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरचा मोठ्या प्रमाणात उत्पादक आणि पुरवठादार आहे आणि आमच्या उत्पादनांना किंमतीचा चांगला फायदा आहे. सेमीकंडक्टर उद्योगात तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही उत्सुक आहोत.
MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्सचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा
उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.
गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.
गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा
- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी
- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा