SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्स

SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्समेटल-ऑर्गेनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) उपकरणांमध्ये वापरलेले आवश्यक घटक आहेत, जे वेफर सब्सट्रेट्स धारण आणि गरम करण्यासाठी जबाबदार आहेत. त्यांच्या उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन, रासायनिक प्रतिकार आणि मितीय स्थिरतेसह, SiC-कोटेड ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्स उच्च-गुणवत्तेच्या वेफर सब्सट्रेट एपिटॅक्सीसाठी इष्टतम पर्याय म्हणून ओळखले जातात.

वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये, दMOCVDतंत्रज्ञानाचा वापर वेफर सब्सट्रेट्सच्या पृष्ठभागावर एपिटॅक्सियल लेयर तयार करण्यासाठी केला जातो, प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी तयार होतो. एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीवर अनेक घटकांचा परिणाम होत असल्याने, वेफर सब्सट्रेट्स थेट एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये ठेवता येत नाहीत. SiC-कोटेड ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्सना वेफर सब्सट्रेट्स धरून ठेवण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी आवश्यक आहे, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी स्थिर थर्मल परिस्थिती निर्माण होते. म्हणून, SiC-कोटेड ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्सचे कार्यप्रदर्शन पातळ फिल्म सामग्रीची एकसमानता आणि शुद्धता थेट निर्धारित करते, ज्यामुळे प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीवर परिणाम होतो.

Semicorex निवडतोउच्च शुद्धता ग्रेफाइटत्याच्या SiC-कोटेड ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्ससाठी मॅट्रिक्स सामग्री म्हणून आणि नंतर ग्रेफाइट मॅट्रिक्सला एकसमान कोट करतेसिलिकॉन कार्बाइडसीव्हीडी तंत्रज्ञानाद्वारे कोटिंग. पारंपारिक तंत्रज्ञानाच्या तुलनेत, CVD तंत्रज्ञान सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आणि ग्रेफाइट मॅट्रिक्समधील बाँडिंग सामर्थ्य लक्षणीयरीत्या सुधारते, परिणामी मजबूत आसंजन असलेले घन कोटिंग बनते. मागणी असलेल्या उच्च-तापमानाच्या संक्षारक वातावरणातही, सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग दीर्घकाळापर्यंत त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि रासायनिक स्थिरता टिकवून ठेवते, संक्षारक वायू आणि ग्रेफाइट मॅट्रिक्स यांच्यातील थेट संपर्कास प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते. हे प्रभावीपणे ग्रेफाइट मॅट्रिक्सचे गंज टाळते आणि ग्रेफाइट कणांना वेफर सब्सट्रेट्स आणि एपिटॅक्सियल लेयर्स वेगळे आणि दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते, सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनची स्वच्छता आणि उत्पन्न सुनिश्चित करते.

Semicorex च्या SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्सचे फायदे

1. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार

2. उच्च थर्मल चालकता

3. उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता

4. थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक

5. अपवादात्मक थर्मल शॉक प्रतिरोध

6. उच्च पृष्ठभाग गुळगुळीत

7. टिकाऊ सेवा जीवन