उच्च वितळण्याचे बिंदू, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोध, सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरण्यासाठी आदर्श पर्याय आहे. त्याचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्कृष्ट सपाटपणा आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान वातावरणासाठी एक आदर्श पर्याय बनते.
सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर सेमीकंडक्टर वेफर्सवर एपिटॅक्सियल लेयर तयार करण्यासाठी योग्य पर्याय आहे, त्याच्या अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण गुणधर्मांमुळे धन्यवाद. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग सर्वात जास्त मागणी असलेल्या उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात देखील उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते.
आमचा SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून, कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.