SiC-लेपित ग्रहांचे संवेदक

सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्स हे Aixtron G2 उपकरणांमध्ये सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी डिझाइन केलेले अपरिहार्य सहाय्यक घटक आहेत, ज्यामध्ये ते वेफर्सना सुरक्षितपणे समर्थन देण्यास आणि ग्रहांच्या गतीच्या मार्गाने फिरण्यास सक्षम आहेत. अशाप्रकारे, वेफरच्या पृष्ठभागावर अचूक थर्मल एकरूपता आणि एकसमान गॅस वितरण यशस्वीरित्या साध्य केले जाऊ शकते, ज्यामुळे वेफर्सवर प्रीमियम-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयर जमा होतात.

सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्सचे फायदे

1. मल्टी-वेफर पॉकेट डिझाइन

Semicorex SiC-लेपितग्रह संवेदकतंतोतंत नियंत्रित परिमाणांसह अनेक वेफर पॉकेट्सचे एकसमान वितरण वैशिष्ट्यीकृत करा. हे वेफर पॉकेट्स एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेदरम्यान वेफर सब्सट्रेट्स घट्टपणे धरून ठेवण्यास सक्षम आहेत, जे वेफर सब्सट्रेट्सच्या अवांछित हालचालीमुळे होणारे एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील फरक प्रभावीपणे कमी करू शकतात. याव्यतिरिक्त, या मल्टी-वेफर पॉकेट डिझाइनमुळे एकाधिक वेफर सब्सट्रेट्स एकाच प्रक्रियेत एकाच वेळी एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनमधून जातात, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेच्या एकूण कार्यक्षमतेत मोठ्या प्रमाणात सुधारणा होते.

2. ऑप्टिमाइझ्ड गॅस फ्लो होल व्यवस्था

सेमीकोरेक्स त्याच्यामध्ये वायू प्रवाह वाहिन्यांचा काळजीपूर्वक अभियांत्रिकी संच समाविष्ट करतेSiC-caotedप्लॅनेटरी ससेप्टर्स, जे संपूर्ण एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत वायूच्या प्रवाहाच्या गतीशीलतेचे ऑप्टिमायझेशन आणि वेफरच्या पृष्ठभागावर थर्मल एकरूपता सुधारते. हे विचारपूर्वक डिझाइन गॅस प्रवाह दर आणि प्रतिक्रिया कक्षातील वितरणावर अचूक नियंत्रण सक्षम करते, जे उच्च-गुणवत्तेच्या पातळ फिल्म्स, एकसमान थर जाडी आणि डिव्हाइसची विश्वसनीय कार्यक्षमता प्राप्त करण्यासाठी आवश्यक आहे.

3. अति-उच्च स्वच्छता

सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्स अल्ट्रा-हाय-प्युरिटी मटेरियल आणि अत्यंत कमी अशुद्धतेच्या पातळीसह तयार केले जातात, सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या कठोर स्वच्छतेच्या आवश्यकता पूर्ण करतात. ते मेटलिक आउटगॅसिंगमुळे होणारे वेफर दूषित प्रभावीपणे कमी करतात, अगदी उच्च-तापमान आणि एपिटॅक्सियल प्रक्रियेच्या वैशिष्ट्यपूर्ण संक्षारक परिस्थितीतही.

4. दीर्घकाळ टिकणारे सेवा जीवन

सेमिकोरेक्सचे गुणवत्ता नियंत्रण आमच्या कच्च्या मालाच्या कठोर निवडीपासून सुरू होते. SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्स सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइडपासून अचूक-उत्पादित केले जातात, उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार देतात, ज्यामुळे ते आव्हानात्मक उच्च-तापमान, अत्यंत संक्षारक एपिटॅक्सियल ऑपरेटिंग परिस्थितीचा उत्तम प्रकारे सामना करतात. या उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्मांसह, Semicorex SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्स त्यांचे सातत्यपूर्ण कार्यप्रदर्शन आणि संरचनात्मक अखंडता राखू शकतात आणि उच्च-तापमान आणि उच्च-गंज प्रतिक्रिया कक्षांमध्ये त्यांची पृष्ठभागाची हानी आणि कार्यक्षमतेत घट टाळू शकतात, ज्यामुळे SiC-कोटेड प्लॅनेटरी ससेप्टर्सचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात वाढवते.