MOCVD साठी SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर वाहक

MOCVD साठी SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. आमचे उत्पादन अत्यंत स्थिर आहे, अगदी अत्यंत वातावरणातही, ते उच्च-गुणवत्तेच्या वेफर्सच्या उत्पादनासाठी उत्कृष्ट पर्याय बनवते.
MOCVD साठी आमच्या SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर वाहकांची वैशिष्ट्ये उत्कृष्ट आहेत. त्याची दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण त्याची गंज प्रतिरोधक क्षमता वाढवतात, ज्यामुळे ते आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना प्रतिरोधक बनवते. वाहक एक समान थर्मल प्रोफाइल सुनिश्चित करतो आणि सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्नची हमी देतो, कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता वेफरमध्ये पसरण्यापासून प्रतिबंधित करते.

MOCVD साठी SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर वाहकांचे पॅरामीटर्स

MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा
उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.
गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.
गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा
- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी
- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा