MOCVD साठी SiC वेफर ससेप्टर्स

थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि यांत्रिक मजबूती यांचे संयोजन हे सुनिश्चित करते की एमओसीव्हीडीसाठी सेमीकोरेक्स SiC वेफर ससेप्टर्सचे दीर्घ ऑपरेशनल आयुष्य आहे, अगदी कठोर प्रक्रिया परिस्थितीतही:

1. MOCVD साठी हे SiC वेफर ससेप्टर्स अत्यंत उच्च तापमान, अनेकदा 1500°C पेक्षा जास्त, ऱ्हास न करता, सहन करण्यासाठी इंजिनीयर केलेले आहेत. ही लवचिकता अशा प्रक्रियांसाठी महत्त्वपूर्ण आहे ज्यांना उच्च थर्मल वातावरणात दीर्घकाळापर्यंत प्रदर्शनाची आवश्यकता असते. उत्कृष्ट थर्मल गुणधर्म ससेप्टरमधील थर्मल ग्रेडियंट आणि ताण कमी करतात, ज्यामुळे अत्यंत प्रक्रिया तापमानात विकृत किंवा विकृत होण्याचा धोका कमी होतो.

2. MOCVD साठी SiC वेफर ससेप्टर्सचे SiC कोटिंग CVD प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या संक्षारक रसायनांना अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करते, जसे की हॅलोजन-आधारित वायू. ही जडत्व हे सुनिश्चित करते की वाहक प्रक्रिया वायूंवर प्रतिक्रिया देत नाहीत, अशा प्रकारे जमा केलेल्या चित्रपटांची अखंडता आणि शुद्धता राखली जाते.

3. MOCVD साठी या SiC वेफर ससेप्टर्सचे मजबूत बांधकाम हे सुनिश्चित करते की ते वेफरला दूषित करू शकणारे कण तयार न करता हाताळणी आणि प्रक्रियेच्या यांत्रिक ताणांना तोंड देऊ शकतात. ससेप्टर्सच्या पृष्ठभागाची एकसमानता पुनरुत्पादक प्रक्रिया परिस्थितीस प्रोत्साहन देते, जे सातत्यपूर्ण कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसह सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक आहे.

हे विस्तारित वर्णन अर्धसंवाहक CVD प्रक्रियेत MOCVD साठी SiC Wafer Susceptors चे व्यावसायिक आणि तांत्रिक फायदे हायलाइट करतात, त्यांच्या अद्वितीय गुणधर्मांवर आणि उत्पादन प्रक्रियेत शुद्धता, कार्यप्रदर्शन आणि कार्यक्षमतेची उच्च मानके राखण्यासाठी फायदे यावर जोर देतात.