सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बॅरल

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट बॅरल सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी योग्य पर्याय आहे ज्यांना उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिकार आवश्यक आहे. त्याची अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण गुणधर्म एलपीई प्रक्रिया आणि इतर उच्च-तापमान वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनवतात.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या बाबतीत, सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ही अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसाठी सर्वोच्च निवड आहे. त्याची उच्च-गुणवत्तेची SiC कोटिंग आणि उच्च घनता आणि थर्मल चालकता सर्वात आव्हानात्मक उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात देखील उत्कृष्ट उष्णता वितरण आणि संरक्षण प्रदान करते.

आमची सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट बॅरल एक समान थर्मल प्रोफाइल सुनिश्चित करते, सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्नची हमी देते. हे कोणत्याही दूषिततेला किंवा अशुद्धींना वेफरमध्ये पसरण्यापासून प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे ते क्लीनरूम वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनते. सेमीकोरेक्स हा चीनमधील SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरचा मोठ्या प्रमाणात उत्पादक आणि पुरवठादार आहे आणि आमच्या उत्पादनांना किंमतीचा चांगला फायदा आहे. सेमीकंडक्टर उद्योगात तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही उत्सुक आहोत.

सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बॅरलचे मापदंड

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बॅरलची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.