SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकलचा कालावधी कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनिर्मिती करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न करता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज आणि झीज असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV LED सह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, कोटिंग सीव्हीडी पद्धतीने उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, व्हॅक्यूममध्ये 2200 डिग्री सेल्सियस काम करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
सेमीकोरेक्सची आरटीपी ग्रेफाइट कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे, ज्यामध्ये एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रिया समाविष्ट आहे. आमचे उत्पादन उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन आहेत याची खात्री करून.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex RTP SiC कोटिंग वाहक उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता प्रदान करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी हे योग्य समाधान आहे. उच्च-गुणवत्तेच्या SiC लेपित ग्रेफाइटसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी सर्वात कठोर निक्षेपण वातावरणाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex RTP/RTA SiC कोटिंग वाहक हे डिपॉझिशन वातावरणातील सर्वात कठीण परिस्थितीला तोंड देण्यासाठी इंजिनिअर केलेले आहे. उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी इष्टतम कार्यप्रदर्शन प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. SiC कोटेड कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत, ज्यामुळे RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईची विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित होते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाMOCVD साठी Semicorex SiC Graphite RTP वाहक प्लेट उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता देते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी ते योग्य उपाय बनते. उच्च-गुणवत्तेच्या SiC कोटेड ग्रेफाइटसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी सर्वात कठोर निक्षेपण वातावरणाचा सामना करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे. उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाएपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स SiC कोटेड RTP कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे. उच्च-गुणवत्तेचे कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स इत्यादींच्या पृष्ठभागावर MOCVD द्वारे प्रक्रिया केलेल्या क्वार्ट्ज क्रूसिबलसह, हे उत्पादन वेफर हाताळणी आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी आदर्श आहे. SiC कोटेड वाहक उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex हा चीनमधील सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरचा मोठ्या प्रमाणावर उत्पादक आणि पुरवठादार आहे. सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट ससेप्टर विशेषत: चीनमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांसाठी इंजिनियर केलेले आहे. आमच्या RTP RTA SiC कोटेड कॅरिअरला चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन मार्केट कव्हर करतात. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा