SiC कोटिंग हा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेद्वारे ससेप्टरवर एक पातळ थर असतो. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल सिलिकॉनवर अनेक फायदे प्रदान करते, ज्यामध्ये 10x ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फील्ड स्ट्रेंथ, 3x द बँड गॅप, जे सामग्रीला उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध तसेच थर्मल चालकता प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स सानुकूलित सेवा प्रदान करते, जास्त काळ टिकणारे घटक, सायकल वेळ कमी आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी तुम्हाला नवनवीन करण्यात मदत करते.
SiC कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे आहेत
उच्च तापमान प्रतिकार: CVD SiC कोटेड ससेप्टर लक्षणीय थर्मल ऱ्हास न होता 1600°C पर्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.
रासायनिक प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आम्ल, अल्कली आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्ससह विस्तृत रसायनांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते.
पोशाख प्रतिरोध: SiC कोटिंग उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च झीज झालेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनते.
थर्मल चालकता: CVD SiC कोटिंग उच्च थर्मल चालकता असलेली सामग्री प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते ज्यासाठी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आवश्यक असते.
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्रीला उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा प्रदान करते, जे उच्च यांत्रिक शक्ती आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनवते.
SiC कोटिंग विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरली जाते
LED उत्पादन: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकारामुळे, निळा आणि हिरवा LED, UV LED आणि deep-UV LED यासह विविध प्रकारच्या LED प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनात केला जातो.
मोबाइल कम्युनिकेशन: GaN-on-SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी CVD SiC कोटेड ससेप्टर हा HEMT चा एक महत्त्वाचा भाग आहे.
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग: CVD SiC कोटेड ससेप्टरचा वापर सेमीकंडक्टर उद्योगात वेफर प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथसह विविध अनुप्रयोगांसाठी केला जातो.
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइटद्वारे बनविलेले, उच्च घनतेच्या ग्रेफाइटच्या विशिष्ट ग्रेडवर CVD पद्धतीने कोटिंग लागू केले जाते, त्यामुळे ते अक्रिय वातावरणात 3000 °C पेक्षा जास्त तापमान असलेल्या भट्टीत, 2200°C व्हॅक्यूममध्ये कार्य करू शकते. .
विशेष गुणधर्म आणि सामग्रीचे कमी वस्तुमान जलद गरम दर, एकसमान तापमान वितरण आणि नियंत्रणात उत्कृष्ट अचूकता देते.
सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा
वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म |
युनिट्स |
मूल्ये |
रचना |
|
FCC β फेज |
अभिमुखता |
अपूर्णांक (%) |
111 ला प्राधान्य दिले |
मोठ्या प्रमाणात घनता |
g/cm³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
उष्णता क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
औष्मिक प्रवाहकता |
(W/mK) |
300 |
निष्कर्ष CVD SiC कोटेड ससेप्टर ही एक संमिश्र सामग्री आहे जी ससेप्टर आणि सिलिकॉन कार्बाइडचे गुणधर्म एकत्र करते. या सामग्रीमध्ये उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यासह अद्वितीय गुणधर्म आहेत. हे गुणधर्म सेमीकंडक्टर प्रक्रिया, रासायनिक प्रक्रिया, उष्णता उपचार, सौर सेल उत्पादन आणि एलईडी उत्पादनासह विविध उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी एक आकर्षक सामग्री बनवतात.
उच्च वितळण्याचा बिंदू, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोधकता, सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड LPE क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरण्यासाठी आदर्श पर्याय आहे. त्याचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्कृष्ट सपाटपणा आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान वातावरणासाठी एक आदर्श पर्याय बनते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासर्वात जास्त मागणी असलेल्या उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणातही विश्वासार्हपणे आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी करू शकणारे ग्रेफाइट ससेप्टर हवे असल्यास, लिक्विड फेज एपिटॅक्सीसाठी सेमिकोरेक्स बॅरल ससेप्टर हा योग्य पर्याय आहे. त्याची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण प्रदान करते, सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांमध्ये अपवादात्मक कामगिरी सुनिश्चित करते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट बॅरल सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी योग्य पर्याय आहे ज्यांना उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिकार आवश्यक आहे. त्याची अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण गुणधर्म एलपीई प्रक्रिया आणि इतर उच्च-तापमान वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनवतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाउत्कृष्ट घनता आणि थर्मल चालकता सह, एलपीईसाठी सेमीकोरेक्स ड्युरेबल SiC-कोटेड बॅरल ससेप्टर एलपीई प्रक्रिया आणि इतर सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी आदर्श पर्याय आहे. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग उच्च संरक्षण आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे ते विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण परिणामांसाठी योग्य पर्याय बनते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाजेव्हा सेमीकंडक्टर उत्पादनाचा विचार केला जातो तेव्हा सेमीकोरेक्स उच्च-तापमान SiC-कोटेड बॅरल ससेप्टर ही उत्कृष्ट कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसाठी सर्वोच्च निवड आहे. त्याची उच्च-गुणवत्तेची SiC कोटिंग आणि अपवादात्मक थर्मल चालकता हे अत्यंत मागणी असलेल्या उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनवते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाउच्च वितळण्याचा बिंदू, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोधकता, एलपीई ग्रोथसाठी सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड बॅरल ससेप्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरण्यासाठी योग्य पर्याय आहे. त्याची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग अपवादात्मक सपाटपणा आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, अगदी उच्च-तापमानाच्या सर्वात जास्त मागणी असलेल्या वातावरणात देखील विश्वासार्ह आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा