सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट ससेप्टर विशेषत: चीनमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांसाठी इंजिनियर केलेले आहे. आमच्या GaN-on-SiC सब्सट्रेट ससेप्टर्सना चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन मार्केट कव्हर करतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पातळ फिल्म डिपॉझिशन टप्प्यात किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या GaN-on-SiC सब्सट्रेट वेफर वाहकांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते. Semicorex उच्च-शुद्धता SiC कोटेड GaN-on-SiC सब्सट्रेट ससेप्टर उच्च उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंग स्वच्छ, गुळगुळीत पृष्ठभाग प्रदान करते, जे हाताळण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे कारण मूळ वेफर्स त्यांच्या संपूर्ण क्षेत्रामध्ये अनेक बिंदूंवर ससेप्टरशी संपर्क साधतात.
Semicorex वर, आम्ही आमच्या ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेची, किफायतशीर उत्पादने पुरवण्यावर लक्ष केंद्रित करतो. आमच्या GaN-on-SiC सब्सट्रेट ससेप्टरला किंमतीचा फायदा आहे आणि तो अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांमध्ये निर्यात केला जातो. सातत्यपूर्ण दर्जेदार उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा वितरीत करून तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याचे आमचे ध्येय आहे.
GaN-on-SiC सब्सट्रेट ससेप्टरचे मापदंड
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
GaN-on-SiC सब्सट्रेट ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.