सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टर

Semicorex ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टर सारख्या इतर सामग्रीच्या पृष्ठभागावर CVD पद्धतीने SiC कोटिंग प्रक्रिया सेवा प्रदान करते, जेणेकरून कार्बन आणि सिलिकॉन असलेले विशेष वायू उच्च तापमानावर प्रतिक्रिया देऊन उच्च शुद्धता SiC रेणू, रेणू प्राप्त करतात. लेपित सामग्रीची पृष्ठभाग, SIC संरक्षणात्मक थर तयार करते. तयार केलेला SIC ग्रेफाइट बेसशी घट्टपणे जोडलेला असतो, ज्यामुळे ग्रेफाइट बेसला विशेष गुणधर्म मिळतात, त्यामुळे ग्रेफाइटचा पृष्ठभाग कॉम्पॅक्ट, सच्छिद्रता-मुक्त, उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक बनतो.
आमचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टर हे थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टरचे पॅरामीटर्स

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.