SiC Epi-वेफर ससेप्टर

सेमीकोरेक्स वेफर्सला सपोर्ट करण्यासाठी वापरल्या जाणार्‍या MOCVD द्वारे लेपित SiC Epi-Wafer ससेप्टर पुरवतो. त्यांचे उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट बांधकाम उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकसमानता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक स्वच्छ, गुळगुळीत पृष्ठभाग प्रदान करते, हाताळण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे कारण मूळ वेफर्स त्यांच्या संपूर्ण क्षेत्रामध्ये अनेक ठिकाणी ससेप्टरशी संपर्क साधतात.
आमचा SiC Epi-Wafer Susceptor हे थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून, सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या SiC Epi-Wafer ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

SiC Epi-Wafer ससेप्टरचे पॅरामीटर्स

SiC Epi-Wafer ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.