सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरण्यासाठी तुम्हाला उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या ग्रेफाइट ससेप्टरची आवश्यकता असल्यास, बॅरल रिएक्टरमध्ये सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन हा आदर्श पर्याय आहे. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग आणि अपवादात्मक थर्मल चालकता उत्कृष्ट संरक्षण आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे ते अगदी आव्हानात्मक वातावरणातही विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरीसाठी योग्य पर्याय बनते.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन इन बॅरल रिॲक्टर हे वेफर चिप्सवर एपिक्सियल लेयर वाढवण्यासाठी एक आदर्श उत्पादन आहे. हे उच्च-शुद्धतेचे SiC लेपित ग्रेफाइट वाहक आहे जे उष्णता आणि गंजांना अत्यंत प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते अत्यंत वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनते. हे बॅरल ससेप्टर एलपीईसाठी योग्य आहे, आणि ते थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून उत्कृष्ट थर्मल कार्यक्षमता प्रदान करते. याव्यतिरिक्त, ते सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्नची हमी देते आणि वेफरमध्ये दूषित किंवा अशुद्धता पसरण्यापासून प्रतिबंधित करते.
Semicorex वर, आम्ही आमच्या ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेची, किफायतशीर उत्पादने पुरवण्यावर लक्ष केंद्रित करतो. बॅरल अणुभट्टीमध्ये आमचा सिलिकॉन एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनचा किमतीचा फायदा आहे आणि तो अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन मार्केटमध्ये निर्यात केला जातो. सातत्यपूर्ण दर्जेदार उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा वितरीत करून तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याचे आमचे ध्येय आहे.
बॅरल रिएक्टरमध्ये सिलिकॉन एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
बॅरल रिएक्टरमध्ये सिलिकॉन एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.