MOCVD अणुभट्ट्यांसाठी susceptors

MOCVD अणुभट्ट्यांसाठी सेमीकोरेक्सचे ससेप्टर्स हे सेमीकंडक्टर उद्योगात सिलिकॉन कार्बाइड लेयर्स आणि एपिटॅक्सी सेमीकंडक्टर यांसारख्या विविध अनुप्रयोगांसाठी वापरल्या जाणाऱ्या उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आहेत. आमचे उत्पादन गियर किंवा रिंगच्या आकारात उपलब्ध आहे आणि उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, ज्यामुळे ते 1600°C पर्यंत तापमानात स्थिर होते.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

MOCVD अणुभट्ट्यांसाठी आमचे ससेप्टर्स उच्च-तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून तयार केले जातात, उच्च शुद्धता सुनिश्चित करतात. उत्पादनाची पृष्ठभाग दाट आहे, त्यात सूक्ष्म कण आणि उच्च कडकपणा आहे, ज्यामुळे ते ऍसिड, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना गंज-प्रतिरोधक बनवते.
MOCVD अणुभट्ट्यांसाठी आमचे ससेप्टर्स सर्व पृष्ठभागांवर कोटिंग सुनिश्चित करण्यासाठी, सोलणे टाळणे आणि सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. उत्पादन थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी देते आणि प्रक्रियेदरम्यान कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यापासून प्रतिबंधित करते, उच्च-गुणवत्तेचे परिणाम सुनिश्चित करते.
Semicorex वर, आम्ही ग्राहकांच्या समाधानाला प्राधान्य देतो आणि किफायतशीर उपाय देतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी, उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा देण्यासाठी उत्सुक आहोत.

MOCVD अणुभट्ट्यांसाठी ससेप्टर्सचे पॅरामीटर्स

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा
उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.
गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.
गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा
- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी
- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा