Semicorex चे AlN हीटर सिलिकॉन वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हाय-प्युरिटी ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) पासून तयार केलेले, हे हीटर विविध उच्च-परिशुद्धता अनुप्रयोगांच्या, विशेषत: सेमीकंडक्टर उद्योगातील गरजा पूर्ण करणारी प्रगत वैशिष्ट्ये प्रदान करते.**
ऑपरेटिंग वातावरणात अष्टपैलुत्व
AlN हीटरच्या प्रमुख गुणधर्मांपैकी एक म्हणजे वातावरणातील आणि निर्वात स्थितीसह विविध ऑपरेटिंग वातावरणात कार्यक्षमतेने कार्य करण्याची क्षमता. 1000°C (1832°F) पर्यंत विस्तारलेल्या प्रभावी ऑपरेशनल तापमान श्रेणीसह, ते संपूर्ण बोर्डवर जलद आणि एकसमान गरम होण्याची खात्री देते. ही अष्टपैलुत्व सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांपासून व्हॅक्यूम बाष्पीभवन प्रणाली, स्पटरिंग मशीन आणि रासायनिक वाष्प संचय (CVD) उपकरणांपर्यंतच्या अनेक अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनवते.
सिंटरिंग प्रक्रियेसह अचूक अभियांत्रिकी
AlN हीटरच्या उत्पादन प्रक्रियेत व्हॅक्यूम हॉट प्रेसिंगचा समावेश आहे, ही पारंपरिक दबावरहित सिंटरिंगपेक्षा लक्षणीयरीत्या आव्हानात्मक प्रक्रिया आहे. हे अत्याधुनिक तंत्र हीटरची ॲल्युमिनियम नायट्राइड शुद्धता 99.5% पर्यंत पोहोचते याची खात्री देते. अशा कठोर उत्पादन मानकांचा वापर करून, Semicorex हमी देते की प्रत्येक AlN हीटर अपवादात्मक यांत्रिक आणि थर्मल गुणधर्म प्रदर्शित करते, अत्यंत मागणीच्या परिस्थितीतही विश्वसनीय कामगिरी प्रदान करते.
अपवादात्मक थर्मल चालकता
AlN हीटरचे एक उत्कृष्ट वैशिष्ट्य म्हणजे त्याची उच्च थर्मल चालकता, जी 180 W/m*K पेक्षा जास्त आहे. ही उच्च औष्णिक चालकता विस्तृत तापमान श्रेणीवर उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता प्राप्त करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे, अनेक उच्च-परिशुद्धता अनुप्रयोगांसाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. कार्यक्षम आणि एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करून 2000 W/in² (310 W/cm²) पर्यंत वितरीत करण्यास सक्षम असलेल्या बहुस्तरीय बांधकामासह हीटर इंजिनियर केले जाऊ शकते. ही क्षमता सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये विशेषतः मौल्यवान आहे जेथे अचूक तापमान नियंत्रण सर्वोपरि आहे.
सुपीरियर गंज प्रतिकार
त्याच्या थर्मल गुणधर्मांव्यतिरिक्त, AlN हीटरमध्ये उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक क्षमता आहे. हे हॅलोजन वायू आणि ऑक्सिडायझिंग वातावरणाविरूद्ध अत्यंत लवचिक आहे आणि ते बहुतेक अम्लीय आणि अल्कधर्मी द्रावणांना मजबूत प्रतिकार देखील दर्शवते. हा प्रतिकार दीर्घकालीन टिकाऊपणा आणि ऑपरेशनल स्थिरता सुनिश्चित करतो, अगदी अशा वातावरणात जेथे संक्षारक पदार्थांचा संपर्क सतत चिंताजनक असतो. अशा टिकाऊपणामुळे वारंवार बदलण्याची गरज कमी होते, ज्यामुळे देखभाल खर्च कमी होतो आणि संपूर्ण प्रणालीची विश्वासार्हता वाढते.
उच्च-तंत्रज्ञान उद्योगांमध्ये अर्ज
सेमिकोरेक्सचे AlN हीटर त्याच्या प्रगत गुणधर्मांमुळे विविध उच्च-तंत्र उद्योगांमध्ये अपरिहार्य आहे:
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग: हीटरचे एकसमान गरम करणे आणि अचूक नियंत्रण हे सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी आदर्श बनवते, उच्च-गुणवत्तेचे वेफर उत्पादन सुनिश्चित करते.
व्हॅक्यूम बाष्पीभवन प्रणाली: उच्च तापमानात निर्वात वातावरणात कार्य करण्याची त्याची क्षमता व्हॅक्यूम बाष्पीभवन प्रणालींसाठी एक उत्कृष्ट पर्याय बनवते, जेथे नियंत्रित गरम करणे महत्वाचे आहे.
स्पटरिंग मशीन्स: AlN हीटरची थर्मल चालकता आणि गंज प्रतिरोधक स्पटरिंग मशीनची कार्यक्षमता आणि आयुर्मान वाढवते, ज्याचा वापर कोटिंग सब्सट्रेट्ससाठी केला जातो.
केमिकल वाष्प डिपॉझिशन (CVD) उपकरणे: CVD प्रक्रियेत, जेथे सामग्री रासायनिक अभिक्रियांद्वारे सब्सट्रेट्सवर जमा केली जाते, हीटरचे एकसमान तापमान वितरण सुसंगत आणि उच्च-गुणवत्तेच्या पातळ फिल्म्सची खात्री देते.
वर्धित कार्यप्रदर्शन आणि विश्वसनीयता
AlN हीटरची रचना आणि साहित्य रचना त्याच्या वर्धित कार्यप्रदर्शन आणि विश्वासार्हतेमध्ये योगदान देते. ॲल्युमिनियम नायट्राइडची शुद्धता, कठोर सिंटरिंग प्रक्रियेसह एकत्रितपणे, हीटरमध्ये परिणाम करते जे केवळ अपवादात्मकपणे चांगले कार्य करत नाही तर विस्तारित कालावधीसाठी त्याची अखंडता देखील राखते. ही विश्वासार्हता उच्च-स्टेक वातावरणात निर्णायक आहे जेथे उपकरणे अयशस्वी झाल्यामुळे लक्षणीय डाउनटाइम आणि आर्थिक नुकसान होऊ शकते.
सानुकूल करण्यायोग्य डिझाइन
वेगवेगळ्या ऍप्लिकेशन्सना अनन्य आवश्यकता आहेत हे समजून, Semicorex AlN हीटरसाठी सानुकूल करण्यायोग्य डिझाइन पर्याय ऑफर करते. हीटरचा आकार, आकार किंवा पॉवर आउटपुट समायोजित करणे असो, आमची तज्ञांची टीम विशिष्ट गरजा पूर्ण करणाऱ्या अनुरूप उपाय विकसित करण्यासाठी क्लायंटशी जवळून काम करते. सानुकूलनाची ही पातळी खात्री करते की AlN हीटर एकंदरीत कार्यक्षमता आणि कार्यप्रदर्शन वाढवून, विद्यमान प्रणालींमध्ये अखंडपणे समाकलित होते.