एल्युमिना रोबोट आर्म

सेमीकोरेक्स एल्युमिना रोबोट आर्म हा एक उच्च-कार्यक्षमता सिरेमिक भाग आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादनात वेफर हाताळणी आणि हस्तांतरण कार्यांसाठी डिझाइन केलेला आहे. उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक (अलओओ) पासून बनविलेले, हे रोबोटिक आर्म क्लिनरूममध्ये लवचिकता, अचूकता, विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा देते.

एल्युमिना रोबोट आर्मच्या बाजूने काय आहे ते म्हणजे गुणधर्मएल्युमिना सिरेमिकयांत्रिक शक्ती आणि कठोरता. म्हणूनएल्युमिनाअधिक शुद्ध केले जाते, एल्युमिना एक चांगली स्ट्रक्चरल अखंडता राखते आणि ते यांत्रिक पोशाख आणि विकृतीस अधिक प्रतिरोधक बनवते. एक सामग्री म्हणून, एल्युमिना रोबोटिक भागांसाठी एक चांगली निवड आहे जी नाजूक आणि पुनरावृत्ती वेफर-हँडलिंग कार्यांमध्ये वापरली जाते, म्हणजे जेव्हा रोबोट आर्मला समान कार्य करण्याची आवश्यकता असते आणि वेफर्सशी संपर्क साधण्याची आवश्यकता असते, तेव्हा रोबोट आर्मद्वारे वेफरला लागू असलेल्या किरकोळ विकृतीसाठी सुविधा उत्पन्नाचे नुकसान होऊ शकते. उच्च कडकपणा, म्हणजे कठोर पृष्ठभाग, अपघर्षक प्रतिकार आणि कार्यात्मक जीवनास मदत करू शकतात, म्हणजे रोबोटिक घटकावरील सेवेचा आणि पुनर्स्थापनेचा कालावधी आणि कालावधी वाढविणे.

त्याच्या यांत्रिक टिकाऊपणाच्या पलीकडे, एल्युमिना रोबोट आर्म देखील एक उत्कृष्ट इलेक्ट्रिकल इन्सुलेटर आहे. प्रतिरोधकता 10⁵ ω ω पर्यंत असते आणि खोलीच्या तपमानावर इन्सुलेशन सामर्थ्य 15 केव्ही/मिमी पर्यंत असते, जे ऑपरेट करण्यासाठी बरेच सुरक्षित वातावरण प्रदान करते, विशेषत: जेव्हा प्रक्रियेच्या उपकरणांमध्ये विद्युत सिग्नल हस्तक्षेप करणे आवश्यक असते. इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्ज (ईएसडी) नुकसानीच्या कमीतकमी जोखमीसह प्रक्रिये दरम्यान हस्तांतरित संवेदनशील सेमीकंडक्टर घटकांचे संरक्षण करताना हे महत्वाचे होते.

अत्यंत उच्च तापमानात स्थिरता राखण्यासाठी एल्युमिना सिरेमिक उत्कृष्ट आहे. वितळणारा बिंदू सुमारे 2050 डिग्री सेल्सियस आहे आणि सेमीकंडक्टर थर्मल प्रक्रियेमध्ये वॉर्पिंग किंवा मितीय अचूकतेशिवाय उच्च तापमानाचा सामना करेल. उच्च उष्णता प्रतिकार हाताला रॅपिड थर्मल ne नीलिंग (आरटीए) किंवा रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) सारख्या प्रक्रियेत वापरण्यास परवानगी देतो, जेथे अचूकता संरेखन आणि थर्मल स्थिरता गंभीर आहे.

एल्युमिना रोबोट आर्मचा दुसरा महत्त्वपूर्ण फायदा म्हणजे त्याची जडता. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये वापरल्या जाणार्‍या बहुतेक साफसफाईच्या एजंट्स आणि प्रक्रिया वायूंसाठी त्याची पृष्ठभाग जड आहे. म्हणूनच, ते दूषितपणा-मुक्त राहील आणि पृष्ठभागाच्या दूषित होण्यास हातभार लावणार नाही. अल्ट्रा-क्लीन उत्पादन परिस्थिती प्राप्त करण्यासाठी आणि सुसंगत डिव्हाइस कार्यक्षमता प्रदान करण्यासाठी ही रासायनिक जडत्व ही गुरुकिल्ली आहे.

एल्युमिना सिरेमिकसेमीकंडक्टर टूलींगसाठी एक परवडणारा पर्याय देखील आहे. हे कच्च्या मालाच्या रूपात सहज उपलब्ध आहे आणि एल्युमिना सिरेमिकच्या मशीनिंग प्रक्रिया चांगल्या प्रकारे समजल्या जातात आणि सहजपणे स्केलेबल असतात. हे प्रतिस्पर्धी किंमतीवर उच्च-गुणवत्तेच्या भागांसाठी पुनरुत्पादक आणि सातत्यपूर्ण सहनशीलतेस अनुमती देते. कार्यक्षमता आणि परवडणारे मिश्रण OEM च्या आणि सेमीकंडक्टर फॅबसाठी एल्युमिना रोबोट आर्म आदर्श बनवते जिथे आपल्याला बँक खंडित न करणारे विश्वसनीय ऑटोमेशन घटक आवश्यक असतात.

थोडक्यात, एल्युमिना रोबोट आर्म उच्च यांत्रिक कामगिरी, उच्च डायलेक्ट्रिक कामगिरी, उच्च थर्मल प्रतिरोध, उच्च रासायनिक कामगिरी, सर्व आर्थिक किंमतीवर सिद्ध उत्पादनासह प्रदान करते. एकत्रितपणे, ही कार्यक्षमता वैशिष्ट्ये सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील अचूक वेफर हँडलिंग अनुप्रयोगांसाठी विश्वासार्ह आणि कार्यक्षम करतात, सुधारित उत्पन्न सक्षम करतात, संभाव्यत: दूषित होण्याचा धोका कमी करतात आणि एकूण उपकरणांची प्रभावीता सुधारतात.