बॅच वेफर बोट

Semicorex उभ्या/स्तंभ आणि क्षैतिज कॉन्फिगरेशनसाठी वेफर बोट्स, पेडेस्टल्स आणि कस्टम वेफर वाहक प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्मचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या बॅच वेफर बोटचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा व्यापतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमिकोरेक्स बॅच वेफर बोट उच्च दर्जाच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक मटेरियलपासून उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरतेसाठी बनविलेले आहे.
आमच्या बॅच वेफर बोटची पृष्ठभाग गुळगुळीत आहे आणि प्रक्रियेदरम्यान उत्कृष्ट वेफर समर्थन आणि संरक्षण प्रदान करते. SiC कोटिंग प्रक्रियेदरम्यान एकसमानता आणि स्थिरता सुनिश्चित करते, दूषित आणि नुकसानापासून वेफर्सचे संरक्षण करते. उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट यांत्रिक शक्तीसह, आमचे वेफर धारक सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह परिणाम देतात.
आमची तज्ञांची टीम सर्वोत्तम गुणवत्ता आणि सेवा प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. आम्ही तुमच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूल डिझाइन ऑफर करतो आणि आमच्या बॅच वेफर बोट्सना आमच्या गुणवत्ता हमी कार्यक्रमाचा पाठिंबा आहे.

बॅच वेफर बोटचे पॅरामीटर्स

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
संकुचित शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	बटण	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मॉड्यूलस	जीपीए	360	410	240

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

बॅच वेफर बोटची वैशिष्ट्ये

- उच्च सामर्थ्य (मोह्स कठोरता 9.5, हिऱ्यानंतर दुसरे)
- ऍसिडस्, अल्कली, क्षार आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्सला गंज प्रतिकार
- उच्च थर्मल चालकता, प्लाझ्मा प्रतिकार, दीर्घ आयुष्य
- सेमीकंडक्टर