सेमीकंडक्टरसाठी सिरेमिक फोकस रिंग्ज

सेमिकोरेक्स सिरेमिकफोकस रिंगसेमीकंडक्टरसाठी s हे कठोर प्लाझ्मा एचिंग ऑपरेटिंग परिस्थितीसाठी तयार केलेले आदर्श उपाय आहेत. अत्याधुनिक सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेदरम्यान, प्लाझ्मा वितरणावर तंतोतंत नियंत्रण करणे महत्वाचे आहे, जे एचिंग चेंबर स्थिरता आणि सातत्यपूर्ण सेमीकंडक्टर एचिंग एकसारखेपणा सुनिश्चित करू शकते. प्रगत नक्षीकाम उपकरणांमध्ये अपरिहार्य घटक वापरले जातात म्हणून, फोकस रिंग सामान्यत: अर्धसंवाहक वेफर्सभोवती स्थित असतात आणि त्यांच्याशी थेट संपर्क साधतात. फोकस रिंग्सच्या कार्यप्रदर्शनाचा प्रक्रियेची पुनरावृत्ती, उत्पादन उत्पादन आणि उपकरणे अपटाइमवर थेट परिणाम होतो.

सेमीकंडक्टरसाठी सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंगचे फायदे

1.अल्ट्रा-उच्च सामग्रीची शुद्धता

ची शुद्धता आमचीCVD SiCसामग्री 99.9995% पेक्षा जास्त आहे. हे अपर्याप्त सामग्रीच्या शुद्धतेमुळे एचिंग चेंबर आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सचे दूषित होण्यापासून प्रभावीपणे प्रतिबंधित करू शकते.

2.असाधारण गंज प्रतिकार

सेमीकंडक्टरसाठी सेमीकोरेक्स सिरॅमिक फोकस रिंग CVD SiC मधून बनविल्या जातात, ज्यामध्ये ऑक्सिडेशन, इरोशन आणि रासायनिक गंज यांचा उत्कृष्ट प्रतिकार असतो, विशेषत: HF आणि HCI सारख्या प्रक्रिया वायू तसेच प्लाझ्मा गॅस विरुद्ध प्रभावी आहेत.

3.उत्कृष्ट प्रतिकार कामगिरी

सेमीकंडक्टरसाठी सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग्सची प्रतिरोधक एकरूपता 5% पेक्षा कमी आहे.

प्रतिरोधकता श्रेणी: कमी Res. (<0.02 Ω·cm), मध्य रेस. (0.2–25 Ω·cm), उच्च रेस. (>100 Ω·cm).

सेमीकंडक्टरसाठी सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंग्सची कार्ये

1.एज इलेक्ट्रिक फील्ड आणि प्लाझ्मा वितरण नियंत्रित आणि एकसमान करा

सेमीकंडक्टरसाठी सेमीकोरेक्स सिरॅमिक फोकस रिंग्स एचिंग चेंबरच्या आत इलेक्ट्रिक फील्डचे वितरण नियंत्रित करू शकतात आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सभोवती अधिक एकसमान प्लाझ्मा शीथ मिळवू शकतात, ज्यामुळे प्लाझ्मा उभ्या आणि एकसमान मार्गाने वेफरच्या पृष्ठभागावर आघात करू शकतात. अशाप्रकारे, एचिंग एज इफेक्ट मोठ्या प्रमाणात कमी केला जाऊ शकतो आणि नक्षीकामाची अचूकता लक्षणीयरीत्या सुधारली जाऊ शकते.

2. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक संरक्षित करा

एचिंग प्रक्रियेत फोकस रिंग्सच्या संरक्षणाशिवाय, इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक उच्च-ऊर्जा प्लाझ्माच्या भडिमार आणि क्षरणास सामोरे जाईल. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक अत्यंत उच्च प्रतिस्थापन खर्चासह उच्च-किमतीच्या सामग्रीपासून बनविलेले असतात. फोकस रिंग्स वापरल्याने इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकवरील प्लाझ्मा गंज प्रभावीपणे कमी होऊ शकते आणि इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकची देखभाल आणि बदली खर्च कमी करता येतो.