सिरेमिक वेफर वाहक

सेमीकोरेक्स तुमच्या OEM सेमी फॅब्रिकेशन टूल्स आणि सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड स्तरांवर लक्ष केंद्रित करणाऱ्या वेफर हँडलिंग घटकांसाठी सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरॅमिक्स प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून सिरॅमिक वेफर कॅरियरचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या उत्पादनांना किंमतीचा चांगला फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठा व्यापतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर कॅरियरमध्ये गंज आणि उच्च तापमान आणि थर्मल शॉकसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार असतो. लवचिकतेच्या उच्च मापांकामुळे उत्कृष्ट मितीय स्थिरता प्राप्त होते. याव्यतिरिक्त, सिरेमिक सामग्रीची शून्य सच्छिद्रता आणि कमी छिद्र घनता आहे.
आम्ही ग्राहकांच्या गरजेनुसार सर्व प्रकारच्या सिरॅमिक वेफर कॅरियरवर प्रक्रिया करू शकतो.

सिरेमिक वेफर कॅरियरचे पॅरामीटर्स

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
संकुचित शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	बटण	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मॉड्यूलस	जीपीए	360	410	240

सेमिकोरेक्सने सिरेमिक वेफर वाहक तीन प्रकारात तयार केले, रिॲक्शन सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC), प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC) आणि रिक्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड (R-SiC).

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

सिरेमिक वेफर कॅरियरची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचे उपलब्ध आकार：

● सिरॅमिक रॉड / सिरॅमिक पिन / सिरॅमिक प्लंगर

● सिरॅमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव्ह

● सिरॅमिक रिंग / सिरॅमिक वॉशर / सिरॅमिक स्पेसर

● सिरॅमिक डिस्क

● सिरॅमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक

● सिरॅमिक बॉल

● सिरॅमिक पिस्टन

● सिरॅमिक नोजल

● सिरेमिक क्रूसिबल

● इतर सानुकूल सिरॅमिक भाग