सानुकूल SiC Cantilever पॅडल

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle हे वेफर लोडिंग सिस्टीम आणि डिफ्यूजन फर्नेसचे हृदय यांच्यातील महत्त्वाचा दुवा म्हणून काम करते, उच्च-तापमान प्रक्रिया झोनमध्ये सिलिकॉन वेफर्सने भरलेल्या क्वार्ट्ज किंवा SiC वेफर बोट्सच्या वाहतूक करण्यासाठी जबाबदार आहे. या मागणीच्या कार्यासाठी त्यांची रचना आणि भौतिक गुणधर्म काळजीपूर्वक ऑप्टिमाइझ केले आहेत:

स्थिर वेफर वाहतुकीसाठी मजबूत कँटिलिव्हर संरचना:कँटीलिव्हर्ड डिझाइन, भट्टीत पसरलेल्या कठोर हाताने वैशिष्ट्यीकृत, अपवादात्मक स्थिरता आणि वेफरच्या हालचालीवर अचूक नियंत्रण प्रदान करते. हे गुळगुळीत आणि कंपन-मुक्त वाहतूक सुनिश्चित करते, लोडिंग आणि अनलोडिंग दरम्यान वेफर तुटणे किंवा चुकीचे संरेखन होण्याचा धोका कमी करते.

कार्यक्षम बॅच प्रक्रियेसाठी उच्च भार क्षमता:SiC सिरॅमिक्सची अंतर्निहित ताकद आणि कडकपणा कस्टम SiC Cantilever पॅडलला सिलिकॉन वेफर्सचे भारी भार सामावून घेण्यास अनुमती देते, प्रत्येक प्रसार चक्राचा थ्रूपुट जास्तीत जास्त करते आणि उच्च उत्पादन व्हॉल्यूममध्ये योगदान देते.

निर्बाध एकत्रीकरणासाठी अचूक मितीय नियंत्रण: कस्टम SiC कँटिलिव्हर पॅडल हे अचूक डायमेंशनल स्पेसिफिकेशन्सवर बारकाईने बनवलेले आहे, डिफ्यूजन फर्नेस सिस्टीममध्ये परिपूर्ण फिट असल्याची खात्री करून आणि ऑटोमेटेड वेफर हँडलिंग रोबोट्ससह अखंड एकीकरण सुलभ करते.

SiC सिरेमिकची निवड, विशेषतःरिॲक्शन बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC)आणिसिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC), सानुकूल SiC Cantilever पॅडलसाठी निवडीची सामग्री उच्च-तापमान वातावरणातील त्यांच्या अपवादात्मक कार्यक्षमतेच्या वैशिष्ट्यांमुळे उद्भवते:

अटूट उच्च-तापमान स्थिरता: कस्टम SiC कँटिलिव्हर पॅडल डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये आलेल्या भारदस्त तापमानात (१६०० डिग्री सेल्सिअस पर्यंत) विकृती आणि रेंगाळण्यास अपवादात्मक प्रतिकार दर्शवते. हे सुसंगत वेफर समर्थन सुनिश्चित करते आणि वेफरच्या एकसमानतेशी तडजोड करू शकणारे सॅगिंग किंवा वाकणे प्रतिबंधित करते.

अपवादात्मक थर्मल शॉक प्रतिरोध:अगणित प्रसार चक्रांवर कस्टम SiC Cantilever पॅडलची अखंडता राखण्यासाठी नुकसान न करता जलद तापमान संक्रमणांना तोंड देण्याची क्षमता महत्त्वपूर्ण आहे. या संदर्भात SiC सिरॅमिक्स उत्कृष्ट आहे, क्रॅक किंवा फ्रॅक्चरचा धोका कमी करते ज्यामुळे महाग डाउनटाइम होऊ शकतो.

अचूक संरेखनासाठी कमी थर्मल विस्तार:SiC सिरॅमिक्सचा किमान थर्मल विस्तार हे सुनिश्चित करतो की कस्टम SiC Cantilever पॅडल ऑपरेशन दरम्यान अनुभवलेल्या विस्तृत तापमान श्रेणींमध्ये त्याची मितीय स्थिरता राखते. भट्टीमध्ये अचूक वेफर संरेखन राखण्यासाठी, एकसमान गरम आणि सातत्यपूर्ण प्रसार प्रोफाइल सुनिश्चित करण्यासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.