CVD SiC फोकस रिंग

प्रगत रासायनिक वाष्प जमा (CVD) प्रक्रिया

CVD SiC फोकस रिंगच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या CVD प्रक्रियेमध्ये SiC चे विशिष्ट आकारांमध्ये अचूक निक्षेप समाविष्ट असते, त्यानंतर कठोर यांत्रिक प्रक्रिया केली जाते. ही पद्धत सामग्रीची प्रतिरोधकता मापदंड सुसंगत असल्याची खात्री करते, विस्तृत प्रयोगानंतर निश्चित केलेल्या सामग्रीच्या गुणोत्तरामुळे धन्यवाद. परिणाम म्हणजे अतुलनीय शुद्धता आणि एकसमानता असलेली फोकस रिंग.

सुपीरियर प्लाझ्मा प्रतिकार

CVD SiC फोकस रिंगच्या सर्वात आकर्षक गुणधर्मांपैकी एक म्हणजे प्लाझमाचा अपवादात्मक प्रतिकार. व्हॅक्यूम रिॲक्शन चेंबरमध्ये फोकस रिंग थेट प्लाझ्माच्या संपर्कात येतात हे लक्षात घेता, अशा कठोर परिस्थितींना सहन करण्यास सक्षम असलेल्या सामग्रीची आवश्यकता सर्वोपरि आहे. SiC, 99.9995% च्या शुद्धता पातळीसह, केवळ सिलिकॉनची विद्युत चालकता सामायिक करत नाही तर आयनिक एचिंगला उत्कृष्ट प्रतिकार देखील देते, ज्यामुळे ते प्लाझ्मा एचिंग उपकरणांसाठी एक आदर्श पर्याय बनते.

उच्च घनता आणि कमी नक्षीची मात्रा

सिलिकॉन (Si) फोकस रिंगच्या तुलनेत, CVD SiC फोकस रिंग उच्च घनतेचा अभिमान बाळगते, ज्यामुळे नक्षीचे प्रमाण लक्षणीयरीत्या कमी होते. फोकस रिंगचे आयुष्य वाढवण्यासाठी आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेची अखंडता राखण्यासाठी ही मालमत्ता महत्त्वपूर्ण आहे. कमी केलेले कोरीव काम कमी व्यत्यय आणि कमी देखभाल खर्चात अनुवादित करते, शेवटी उत्पादन कार्यक्षमता वाढवते.

रुंद बँडगॅप आणि उत्कृष्ट इन्सुलेशन

SiC चा रुंद बँडगॅप उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुणधर्म प्रदान करतो, जे अवांछित विद्युत प्रवाहांना खोदकाम प्रक्रियेत हस्तक्षेप करण्यापासून रोखण्यासाठी आवश्यक आहे. हे वैशिष्ट्य हे सुनिश्चित करते की फोकस रिंग सर्वात आव्हानात्मक परिस्थितीतही, विस्तारित कालावधीत त्याचे कार्यप्रदर्शन कायम ठेवते.

थर्मल चालकता आणि थर्मल शॉकचा प्रतिकार

CVD SiC फोकस रिंग उच्च थर्मल चालकता आणि कमी विस्तार गुणांक प्रदर्शित करतात, ज्यामुळे ते थर्मल शॉकसाठी अत्यंत प्रतिरोधक असतात. हे गुणधर्म विशेषत: जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) चा समावेश असलेल्या ऍप्लिकेशन्समध्ये फायदेशीर आहेत, जेथे फोकस रिंगने तीव्र उष्णतेच्या डाळींचा सामना केला पाहिजे आणि त्यानंतर जलद थंड होणे आवश्यक आहे. अशा परिस्थितीत स्थिर राहण्याची CVD SiC फोकस रिंगची क्षमता आधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादनात अपरिहार्य बनवते.

यांत्रिक सामर्थ्य आणि टिकाऊपणा

CVD SiC फोकस रिंगची उच्च लवचिकता आणि कडकपणा यांत्रिक प्रभाव, परिधान आणि गंज यांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. हे गुणधर्म हे सुनिश्चित करतात की फोकस रिंग अर्धसंवाहक फॅब्रिकेशनच्या कठोर मागण्या सहन करू शकते, कालांतराने त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि कार्यप्रदर्शन टिकवून ठेवते.

विविध उद्योगांमध्ये अर्ज

1. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या क्षेत्रात, CVD SiC फोकस रिंग हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरणांचा एक आवश्यक घटक आहे, विशेषत: जे कॅपेसिटिव्ह कपल्ड प्लाझ्मा (CCP) प्रणाली वापरतात. या प्रणालींमध्ये आवश्यक असलेली उच्च प्लाझ्मा ऊर्जा CVD SiC फोकस रिंगची प्लाझ्मा प्रतिरोधकता आणि टिकाऊपणा अमूल्य बनवते. याव्यतिरिक्त, त्याचे उत्कृष्ट थर्मल गुणधर्म हे RTP ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य बनवतात, जेथे जलद गरम आणि कूलिंग सायकल सामान्य आहेत.

2. एलईडी वेफर वाहक

CVD SiC फोकस रिंग देखील LED वेफर वाहकांच्या निर्मितीमध्ये अत्यंत प्रभावी आहे. सामग्रीची थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक गंजाचा प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की फोकस रिंग LED फॅब्रिकेशन दरम्यान उपस्थित असलेल्या कठोर परिस्थितींचा सामना करू शकते. ही विश्वासार्हता उच्च उत्पन्न आणि चांगल्या दर्जाच्या एलईडी वेफर्समध्ये अनुवादित करते.

3. स्पटरिंग लक्ष्ये

स्पटरिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये, CVD SiC फोकस रिंगची उच्च कडकपणा आणि परिधान करण्यासाठी प्रतिरोधकता हे स्पटरिंग लक्ष्यांसाठी एक आदर्श पर्याय बनवते. फोकस रिंगची उच्च-ऊर्जेच्या प्रभावाखाली त्याची संरचनात्मक अखंडता राखण्याची क्षमता सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह स्पटरिंग कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते, जे पातळ फिल्म आणि कोटिंग्जच्या निर्मितीमध्ये महत्त्वपूर्ण आहे.