CVD SiC शॉवर हेड्स

Semicorex CVD SiC शॉवर हेड्स प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये CCP आणि ICP एचिंग सिस्टमसाठी डिझाइन केलेले उच्च-शुद्धता, अचूक-इंजिनियर केलेले घटक आहेत. सेमीकोरेक्स निवडणे म्हणजे सर्वात जास्त मागणी असलेल्या प्लाझ्मा प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट सामग्री शुद्धता, मशीनिंग अचूकता आणि टिकाऊपणासह विश्वसनीय उपाय मिळवणे.*

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

उच्च थर्मल चालकता, प्लाझ्मा प्रतिरोध आणि यांत्रिक शक्तीसह शॉवर हेडच्या कार्यक्षमतेत आणि टिकाऊपणामध्ये योगदान देणारे अंतर्निहित भौतिक गुणधर्म आहेत. CVD SiC शॉवर हेड अत्यंत प्रक्रिया वातावरणात टिकून राहू शकते - उच्च तापमान, संक्षारक वायू इ. - विस्तारित सेवा चक्रांमध्ये कार्यप्रदर्शन राखून.

CVD SiC शॉवर हेड ICP एचिंगमध्ये देखील लागू केले जाऊ शकतात. आयसीपी एचर आरएफ चुंबकीय क्षेत्र निर्माण करण्यासाठी इंडक्शन कॉइल (सामान्यत: सोलेनॉइड) वापरतात, ज्यामुळे विद्युत् प्रवाह आणि प्लाझ्मा निर्माण होतो. CVD SiC शॉवर हेड्स, एक वेगळा घटक म्हणून, प्लाझ्मा प्रदेशात समान रीतीने एचिंग गॅस पोहोचवण्यासाठी जबाबदार आहेत.

CVD SiC शॉवर हेड हा सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उपकरणांसाठी उच्च-शुद्धता आणि अचूक-उत्पादित घटक आहे जो गॅस वितरण आणि इलेक्ट्रोड क्षमतेसाठी मूलभूत आहे. रासायनिक वाष्प संचय (CVD) निर्मितीचा वापर करून, शॉवर हेड अपवाद साध्य करते

CVD सिलिकॉन कार्बाइड

उच्च शुद्धता हा CVD SiC शॉवर हेड्सच्या निश्चित फायद्यांपैकी एक आहे. अर्धसंवाहक प्रक्रियेत, अगदी कमी दूषितपणा देखील वेफरच्या गुणवत्तेवर आणि उपकरणाच्या उत्पन्नावर लक्षणीय परिणाम करू शकतो. हे शॉवरहेड अल्ट्रा-क्लीन-ग्रेड वापरतेCVD सिलिकॉन कार्बाइडकण आणि धातूचे प्रदूषण कमी करण्यासाठी. हे शॉवरहेड स्वच्छ वातावरणाची खात्री देते आणि रासायनिक बाष्प जमा करणे, प्लाझ्मा एचिंग आणि एपिटॅक्सियल वाढ यासारख्या मागणी प्रक्रियेसाठी आदर्श आहे.

याव्यतिरिक्त, अचूक मशीनिंग उत्कृष्ट मितीय नियंत्रण आणि पृष्ठभाग गुणवत्ता दर्शवते. CVD SiC शॉवर हेडमधील गॅस वितरण छिद्र कठोर सहिष्णुतेसह बनविलेले आहेत जे वेफर पृष्ठभागावर एकसमान आणि नियंत्रित गॅस प्रवाह सुनिश्चित करण्यात मदत करतात. तंतोतंत वायू प्रवाह फिल्म एकसमानता आणि पुनरावृत्तीक्षमता सुधारतो आणि उत्पन्न आणि उत्पादकता सुधारू शकतो. मशिनिंगमुळे पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा कमी होण्यास मदत होते, ज्यामुळे कण तयार होणे कमी होते आणि घटकांचे आयुष्यही सुधारते.

CVD SiCउच्च थर्मल चालकता, प्लाझ्मा प्रतिरोध आणि यांत्रिक शक्तीसह शॉवर हेडच्या कार्यक्षमतेत आणि टिकाऊपणामध्ये योगदान देणारे अंतर्निहित भौतिक गुणधर्म आहेत. CVD SiC शॉवर हेड अत्यंत प्रक्रिया वातावरणात टिकून राहू शकते - उच्च तापमान, संक्षारक वायू इ. - विस्तारित सेवा चक्रांमध्ये कार्यप्रदर्शन राखून.

हॉट टॅग्ज: CVD SiC शॉवर हेड्स, चीन, उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना, सानुकूलित, मोठ्या प्रमाणात, प्रगत, टिकाऊ

उत्पादन टॅग

संबंधित श्रेणी