क्षैतिज चेंबर फर्नेस sic बोटी

सेमीकोरेक्स क्षैतिज चेंबर फर्नेस एसआयसी बोटी एक अत्यंत इंजिनियर्ड भाग आहेत ज्यात वेफर्स किंवा सब्सट्रेट्स ठेवतात आणि त्यांना क्षैतिज चेंबर फर्नेसमध्ये उच्च-तापमान थर्मल प्रोसेसिंग केले जाते. वेफर बोट उच्च-शुद्धता एसआयसी बंधनकारक आहे सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी), जे सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टिक आणि प्रगत सिरेमिक्स प्रक्रियेमध्ये मागणी केली जाते अशा सामर्थ्य, थर्मल स्थिरता आणि उच्च रासायनिक प्रतिकारांचे अद्वितीय संयोजन प्रदान करते. वेफर बोट वेफर्सला स्थितीत ठेवण्यासाठी कठोर रचना म्हणून देखील कार्य करते, मितीय स्थिरता आणि वेफर्सची सुस्पष्टता अत्यंत प्रक्रियेच्या तापमानाच्या विस्तारित प्रदर्शनामुळे गमावणार नाही.

क्वार्ट्ज किंवा एल्युमिना सारख्या वेफर बोटींसाठी ठराविक सामग्रीच्या तुलनेत सिलिकॉन कार्बाईडचे उत्कृष्ट गुणधर्म क्षैतिज चेंबर फर्नेस एसआयसी बोटांना उत्कृष्ट कामगिरीचा फायदा प्रदान करतात. थर्मल सायकलच्या गरम आणि शीतकरण किंवा अतिरेकीपणाची पर्वा न करता, त्यांच्या उच्च वितळण्याचे बिंदू, थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि यांत्रिक सामर्थ्यामुळे ते कमीतकमी अल्प-कालावधी हीटिंग आणि कूलिंग चक्रांचा प्रतिकार करू शकतात. क्षैतिज भट्टी संपूर्णपणे वेफर्सच्या स्थानांच्या सुसंगततेवर आणि प्रक्रियेच्या परिस्थितीच्या प्रदर्शनावर अवलंबून असल्याने, वेफर्सचे योग्य संरेखन सुसंगत प्रक्रिया उत्पादन आणि पुनरावृत्तीसाठी प्रदान करते. थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक म्हणजे बोट त्याच्या आयुष्यात विकृत होणार नाही आणि वेफर्सचे कायम ठेवलेले आकार आणि अंतर प्रदान करेल.

रीक्रिस्टलाइज्ड एसआयसीची बारीक-दाट, दाट रचना ऑक्सिडेशन, गंज आणि प्रक्रिया वायू आणि उप-उत्पादनांद्वारे दूषिततेस उल्लेखनीय प्रतिकार प्रदान करते. हे डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन, एलपीसीव्हीडी आणि ne नीलिंग सारख्या आक्रमक वातावरणातील प्रक्रियेसाठी बोट विशेषत: फायदेशीर बनवते. एसआयसीची उच्च रासायनिक जडत्व वेफर पृष्ठभागावरील प्रतिक्रिया टाळते, अशा प्रकारे उत्पादनाची शुद्धता जपते आणि भट्टीमध्ये कण पिढी कमी करते. एसआयसी बोटी अशा उत्पादकांना मदत करू शकतात ज्यांना कठोर स्वच्छतेच्या मागण्या पूर्ण करणे आवश्यक आहे, क्लिनर प्रोसेसिंग वातावरण आणि सुधारित वेफर गुणवत्ता प्रदान करणे आवश्यक आहे.

या बोटी विविध जटिल भूमिती आणि अचूक मशीनिंग आणि तयार करण्याच्या तंत्रासह भाग-विशिष्ट परिमाणांसह तयार केल्या जाऊ शकतात. वेफर्सला क्षैतिज अभिमुखतेमध्ये सुरक्षितपणे ठेवण्यासाठी आणि संपूर्ण वेफर पृष्ठभागास थर्मल परिस्थितीत एकसमानपणे उघडकीस आणण्यासाठी डिझाइन सामान्यत: एकाधिक समांतर स्लॉट/खोबणी वापरतात. स्लॉट-टू-स्लॉट स्पेसिंग आणि कोनात इतर व्यासांच्या वेफर्स, जसे की 150 मिमी, 200 मिमी, किंवा 300 मिमी आणि प्रक्रियेसाठी तापमान एकसारखेपणा प्राप्त करताना थेट एअरफ्लो फिट करण्यासाठी देखील अनुकूलित केले जाऊ शकते.

क्षैतिज चेंबर फर्नेस एसआयसी बोटी केवळ मानक प्रस्थानात डिझाइन केल्या जाऊ शकत नाहीत, परंतु ते स्वयंचलित वेफर लोडर्ससह कार्य करण्यासाठी डिझाइन केले जाऊ शकतात, परिणामी आधुनिक उच्च-थ्रूपुट उत्पादन ओळींमध्ये अखंड एकत्रीकरण होते. मजबूत डिझाइनमुळे नौका हाताळताना चिप किंवा तोडण्याची शक्यता कमी होईल आणि डाउनटाइम आणि पुनर्स्थापनेसाठी खर्च कमी होईल.

च्या औष्णिक चालकतासिलिकॉन कार्बाईडवेफर्स आणि फर्नेस वातावरणामध्ये कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण सुलभ करणारे आणखी एक महत्त्वाचे फायदा दर्शवते. त्याचा फायदा असा आहे की उत्पादक अधिक एकसमान प्रक्रिया स्थिती प्राप्त करण्यास आणि सायकल वेळा कमी करण्यास सक्षम आहेत, ज्यामुळे उत्पादन कार्यक्षमता वाढू शकते. एसआयसी बोटी सुसंगत आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य परिणाम प्रदान करतात की ते सेमीकंडक्टर वेफर फॅब्रिकेशन, सौर सेल मॅन्युफॅक्चरिंग किंवा एलिव्हेटेड तापमानात इतर प्रगत सामग्री प्रक्रियेसाठी वापरले जातात.

थोडक्यात, क्षैतिज चेंबर फर्नेस एसआयसी बोटी उच्च-कार्यक्षमता, दीर्घकाळ टिकणारी आणि दूषित-प्रतिरोधक वेफर कॅरियरसह वेफर्स तयार करण्याच्या विचारात असलेल्या उत्पादकांसाठी एक महत्त्वाचा घटक आहेत. यात यांत्रिक सामर्थ्य, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व आहे जे क्षैतिज भट्टी अनुप्रयोगांमध्ये असमान आहे. सिलिकॉन कार्बाईड बोटी निवडून, ऑपरेटर चांगल्या प्रक्रियेचे नियंत्रण, उच्च उत्पन्न आणि देखभालमुळे ऑपरेशनल व्यत्यय कमी करू शकतात. एकूणच हे अधिक कार्यक्षम, खर्च प्रभावी उत्पादनांची तरतूद करते.