Ltoi wafer

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेचे एलटीओआय वेफर ऑफर करते, जे आरएफ फिल्टर्स, ऑप्टिकल डिव्हाइस आणि एमईएमएस तंत्रज्ञानामध्ये प्रगत अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले आहे. आमच्या वेफर्समध्ये 0.3-50 µm च्या जाडीच्या श्रेणीसह लिथियम टॅन्टॅलेट (एलटी) थर आहे, अपवादात्मक पायझोइलेक्ट्रिक कार्यक्षमता आणि थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करते.

6 इंच आणि 8 इंचाच्या आकारात उपलब्ध, हे वेफर्स एक्स, झेड आणि वाय -42 कटसह विविध क्रिस्टल ओरिएंटेशनचे समर्थन करतात, भिन्न डिव्हाइस आवश्यकतांसाठी अष्टपैलुत्व प्रदान करतात. इन्सुलेटिंग सब्सट्रेट एसआय, एसआयसी, नीलमणीवर सानुकूलित केले जाऊ शकते,

 स्पिनल किंवा क्वार्ट्ज, विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी कार्यप्रदर्शन अनुकूलित करतात.

लिथियम टॅन्टालाट (एलटी, लिटाओ 3) क्रिस्टल एक महत्त्वपूर्ण मल्टीफंक्शनल क्रिस्टल मटेरियल आहे ज्यात उत्कृष्ट पायझोइलेक्ट्रिक, फेरोइलेक्ट्रिक, अकॉस्टो-ऑप्टिक आणि इलेक्ट्रो-ऑप्टिक प्रभाव आहेत. पायझोइलेक्ट्रिक applications प्लिकेशन्सची पूर्तता करणारे ध्वनिक-ग्रेड एलटी क्रिस्टल्स उच्च-फ्रिक्वेन्सी ब्रॉडबँड ध्वनिक रेझोनेटर्स, ट्रान्सड्यूसर, विलंब रेषा, फिल्टर्स आणि इतर उपकरणे तयार करण्यासाठी वापरल्या जाऊ शकतात, जे मोबाइल कम्युनिकेशन्स, उपग्रह संप्रेषण, डिजिटल सिग्नल प्रोसेसिंग, ब्रॉडकास्टिंग, ब्रॉडकास्टिंग, रॅडर, सेन्स्रींग, रॅडर इतर सैन्य फील्ड.

पारंपारिक पृष्ठभाग ध्वनिक वेव्ह (एसएडी) उपकरणे एलटी सिंगल क्रिस्टल ब्लॉक्सवर तयार केली जातात आणि डिव्हाइस मोठे आहेत आणि सीएमओएस प्रक्रियेसह सुसंगत नाहीत. उच्च-कार्यक्षमता पायझोइलेक्ट्रिक सिंगल क्रिस्टल थिन फिल्मचा वापर सॉ डिव्हाइसचे एकत्रीकरण सुधारण्यासाठी आणि खर्च कमी करण्यासाठी एक चांगला पर्याय आहे. पायझोइलेक्ट्रिक सिंगल क्रिस्टल पातळ चित्रपटांवर आधारित सॉ डिव्हाइसेस केवळ सेमीकंडक्टर मटेरियल सब्सट्रेट्स म्हणून वापरून सॉ डिव्हाइसची एकत्रीकरण क्षमता सुधारू शकत नाहीत, तर हाय-स्पीड सिलिकॉन, सफाईर किंवा डायमंड सब्सट्रेट्स निवडून ध्वनी लहरींच्या प्रसारणाची गती सुधारू शकतात. हे सब्सट्रेट्स पायझोइलेक्ट्रिक लेयरच्या आत असलेल्या उर्जेचे मार्गदर्शन करून ट्रान्समिशनमधील लाटांचे नुकसान कमी करू शकतात. म्हणूनच, योग्य पायझोइलेक्ट्रिक सिंगल क्रिस्टल फिल्म आणि तयारी प्रक्रिया निवडणे ही उच्च-कार्यक्षमता, कमी किमतीची आणि अत्यंत समाकलित सॉ डिव्हाइस मिळविण्यासाठी मुख्य घटक आहे.

आरएफ फ्रंट-एंडच्या एकत्रीकरणाच्या आणि लघु-अंतर्भागाच्या विकासाच्या ट्रेंड अंतर्गत एकत्रीकरण, लघुचित्रण, उच्च वारंवारता आणि मोठ्या बँडविड्थसाठी पायझोइलेक्ट्रिक ध्वनिक उपकरणांच्या पुढील पिढीच्या त्वरित गरजा पूर्ण करण्यासाठी, क्रिस्टल आयन इम्प्लांटेशन तंत्रज्ञान (सीआयएस) आणि वेफर बॉन्डिंग तंत्रज्ञानाची रचना तयार केली जाऊ शकते, जे वेफर बॉन्डिंग टू-राइट आहे, जे वेफर बॉन्डिंगसाठी तयार केले जाऊ शकते) उच्च कार्यप्रदर्शन आणि कमी किंमतीच्या आरएफ सिग्नल प्रोसेसिंग डिव्हाइसच्या विकासासाठी नवीन समाधान आणि समाधान. एलटीओआय एक क्रांतिकारक तंत्रज्ञान आहे. एलटीओआय वेफरवर आधारित सॉ डिव्हाइसमध्ये लहान आकाराचे, मोठे बँडविड्थ, उच्च ऑपरेटिंग वारंवारता आणि आयसी एकत्रीकरणाचे फायदे आहेत आणि ब्रॉड मार्केट अनुप्रयोगाची शक्यता आहे.

क्रिस्टल आयन इम्प्लांटेशन स्ट्रिपिंग (सीआयएस) तंत्रज्ञान सबमिक्रॉन जाडीसह उच्च-गुणवत्तेच्या सिंगल क्रिस्टल पातळ फिल्म सामग्री तयार करू शकते आणि नियंत्रित करण्यायोग्य तयारी प्रक्रियेचे फायदे, आयन इम्प्लांटेशन एनर्जी, इम्प्लांटेशन डोस आणि ne नीलिंग तापमान यासारख्या समायोज्य प्रक्रिया पॅरामीटर्सचे फायदे आहेत. सीआयएस तंत्रज्ञान जसजसे परिपक्व होते, सीआयएस तंत्रज्ञान आणि वेफर बाँडिंग तंत्रज्ञानावर आधारित स्मार्ट-कट तंत्रज्ञान केवळ सब्सट्रेट सामग्रीचे उत्पादन सुधारू शकत नाही तर सामग्रीच्या एकाधिक वापराद्वारे खर्च कमी करू शकत नाही. आकृती 1 आयन इम्प्लांटेशन आणि वेफर बाँडिंग आणि सोलणे यांचे एक योजनाबद्ध आकृती आहे. स्मार्ट-कट तंत्रज्ञान प्रथम फ्रान्समध्ये एसओआयटीईसीने विकसित केले होते आणि उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन-ऑन-इन्सुलेटर (एसओआय) वेफर्स [18] च्या तयारीसाठी लागू केले होते. स्मार्ट-कट तंत्रज्ञान केवळ उच्च-गुणवत्तेची आणि कमी किमतीच्या एसओआय वेफर्सची निर्मिती करू शकत नाही तर आयन रोपण ऊर्जा बदलून इन्सुलेटिंग लेयरवर एसआयची जाडी देखील नियंत्रित करते. म्हणूनच, एसओआय सामग्रीच्या तयारीत त्याचा मजबूत फायदा आहे. याव्यतिरिक्त, स्मार्ट-कट तंत्रज्ञानामध्ये विविध सिंगल क्रिस्टल फिल्म वेगवेगळ्या सब्सट्रेट्समध्ये हस्तांतरित करण्याची क्षमता देखील आहे. याचा उपयोग विशेष फंक्शन्स आणि अनुप्रयोगांसह मल्टीलेयर पातळ फिल्म मटेरियल तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो, जसे की एसआय सब्सट्रेट्सवर एलटी फिल्म तयार करणे आणि सिलिकॉन (एसआय) वर उच्च-गुणवत्तेच्या पायझोइलेक्ट्रिक पातळ फिल्म मटेरियल तयार करणे. म्हणूनच, हे तंत्रज्ञान उच्च-गुणवत्तेचे लिथियम टॅन्टॅलेट सिंगल क्रिस्टल फिल्म तयार करण्याचे एक प्रभावी साधन बनले आहे.