Semicorex ही चीनमधील सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइटची मोठ्या प्रमाणात उत्पादक आणि पुरवठादार आहे. आमच्या MOCVD इनलेट रिंग्सचा किमतीचा चांगला फायदा आहे आणि त्यामुळे अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश होतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.
सेमीकोरेक्स डिपॉझिशन आणि वेफर प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्या MOCVD इनलेट रिंग्सचा पुरवठा करते, जे RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे. आमच्या MOCVD इनलेट रिंग्समध्ये उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटेड ग्रेफाइट बांधकाम आहे, जे उच्च उष्णता प्रतिरोधकता, सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक स्वच्छ, गुळगुळीत पृष्ठभाग प्रदान करते, हाताळण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे कारण मूळ वेफर्स त्यांच्या संपूर्ण क्षेत्रामध्ये अनेक ठिकाणी ससेप्टरशी संपर्क साधतात.
सेमीकोरेक्समध्ये, आम्ही उच्च-गुणवत्तेची, किफायतशीर MOCVD इनलेट रिंग प्रदान करण्यावर लक्ष केंद्रित करतो, आम्ही ग्राहकांच्या समाधानाला प्राधान्य देतो आणि किफायतशीर उपाय प्रदान करतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी, उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा देण्यासाठी उत्सुक आहोत.
MOCVD इनलेट रिंग्सचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
औष्मिक प्रवाहकता |
(W/mK) |
300 |
MOCVD इनलेट रिंग्सची वैशिष्ट्ये
- चांगली घनता आणि उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकते.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.