CVD SiC शॉवरहेड

CVD प्रक्रियांमध्ये Semicorex CVD SiC शॉवरहेडचे फायदे:

1. सुपीरियर गॅस फ्लो डायनॅमिक्स:

एकसमान गॅस वितरण:CVD SiC शॉवरहेडमधील अचूकपणे इंजिनीयर्ड नोजल डिझाइन आणि वितरण चॅनेल संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर अत्यंत एकसमान आणि नियंत्रित वायू प्रवाह सुनिश्चित करतात. कमीत कमी जाडीच्या फरकांसह सातत्यपूर्ण फिल्म डिपॉझिशन साध्य करण्यासाठी ही एकजिनसीता सर्वोपरि आहे.

कमी गॅस फेज प्रतिक्रिया:पूर्ववर्ती वायू थेट वेफरच्या दिशेने निर्देशित करून, CVD SiC शॉवरहेड अवांछित गॅस फेज प्रतिक्रियांची शक्यता कमी करते. यामुळे कमी कण तयार होतात आणि चित्रपटाची शुद्धता आणि एकरूपता सुधारते.

वर्धित सीमा स्तर नियंत्रण:CVD SiC शॉवरहेडने तयार केलेले गॅस फ्लो डायनॅमिक्स वेफरच्या पृष्ठभागावरील सीमा स्तर नियंत्रित करण्यात मदत करू शकतात. डिपॉझिशन रेट आणि फिल्म गुणधर्म ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी हे हाताळले जाऊ शकते.

2. सुधारित चित्रपट गुणवत्ता आणि एकसमानता:

जाडी एकरूपता:एकसमान गॅस वितरण मोठ्या वेफर्समध्ये थेट उच्च एकसमान फिल्म जाडीमध्ये भाषांतरित करते. मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक फॅब्रिकेशनमधील उपकरणाच्या कार्यक्षमतेसाठी आणि उत्पन्नासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.

रचनात्मक एकरूपता:CVD SiC शॉवरहेड संपूर्ण वेफरमध्ये पूर्ववर्ती वायूंचे सातत्य राखण्यास मदत करते, एकसमान फिल्म रचना सुनिश्चित करते आणि फिल्म गुणधर्मांमधील फरक कमी करते.

दोष घनता कमी:नियंत्रित वायूचा प्रवाह CVD चेंबरमधील क्षोभ आणि रीक्रिक्युलेशन कमी करतो, कण निर्मिती कमी करतो आणि जमा केलेल्या फिल्ममधील दोषांची शक्यता कमी करतो.

3. वर्धित प्रक्रिया कार्यक्षमता आणि थ्रूपुट:

वाढीव ठेवी दर:CVD SiC शॉवरहेड मधून निर्देशित वायू प्रवाह अधिक कार्यक्षमतेने वेफर पृष्ठभागावर वितरीत करतो, संभाव्यत: डिपॉझिशन दर वाढवतो आणि प्रक्रिया वेळ कमी करतो.

पूर्ववर्ती वापर कमी केला:प्रिकर्सर डिलिव्हरी ऑप्टिमाइझ करून आणि कचरा कमी करून, CVD SiC शॉवरहेड सामग्रीच्या अधिक कार्यक्षम वापरामध्ये योगदान देते, उत्पादन खर्च कमी करते.

सुधारित वेफर तापमान एकरूपता:काही शॉवरहेड डिझाईन्समध्ये अशी वैशिष्ट्ये समाविष्ट आहेत जी चांगल्या उष्णता हस्तांतरणास प्रोत्साहन देतात, ज्यामुळे वेफर तापमान अधिक एकसमान होते आणि फिल्म एकसमानता वाढते.

4. विस्तारित घटक आजीवन आणि कमी देखभाल:

उच्च तापमान स्थिरता:CVD SiC शॉवरहेडचे अंतर्निहित भौतिक गुणधर्म उच्च तापमानास अपवादात्मकपणे प्रतिरोधक बनवतात, शॉवरहेड अनेक प्रक्रिया चक्रांमध्ये त्याची अखंडता आणि कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.

रासायनिक जडत्व:CVD SiC शॉवरहेड CVD मध्ये वापरल्या जाणाऱ्या रिऍक्टिव्ह पूर्ववर्ती वायूंपासून होणाऱ्या गंजांना उत्कृष्ट प्रतिकार दर्शविते, दूषितता कमी करते आणि शॉवरहेडचे आयुष्य वाढवते.

5. अष्टपैलुत्व आणि सानुकूलन:

तयार केलेले डिझाइन:CVD SiC शॉवरहेड विविध CVD प्रक्रिया आणि अणुभट्टी कॉन्फिगरेशनच्या विशिष्ट आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन आणि सानुकूलित केले जाऊ शकते.

प्रगत तंत्रांसह एकत्रीकरण: Semicorex CVD SiC शॉवरहेड कमी-दाब CVD (LPCVD), प्लाझ्मा-वर्धित CVD (PECVD), आणि परमाणु स्तर CVD (ALCVD) सह विविध प्रगत CVD तंत्रांशी सुसंगत आहे.