प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंग

आमची प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंग आरटीए, आरटीपी किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी अत्यंत स्थिर आहे, ज्यामुळे ते प्लाझ्मा इच (किंवा ड्राय इच) चेंबरमध्ये वापरण्यासाठी एक आदर्श पर्याय बनते. वेफर एज किंवा परिमितीभोवती कोरीव एकसमानता सुधारण्यासाठी डिझाइन केलेले, आमच्या फोकस रिंग्ज किंवा एज रिंग्स दूषितता कमी करण्यासाठी आणि अनियोजित देखभाल करण्यासाठी इंजिनियर केलेल्या आहेत.

आमचे SiC कोटिंग हे दाट, परिधान-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग आहे ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. आम्ही रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेचा वापर करून ग्रेफाइटवर पातळ थरांमध्ये SiC लागू करतो. हे सुनिश्चित करते की आमच्या SiC फोकस रिंग्समध्ये उच्च गुणवत्ता आणि टिकाऊपणा आहे, ज्यामुळे ते तुमच्या प्लाझ्मा एच् प्रोसेसिंग गरजांसाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनतात.

आमच्या प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंगबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंगचे पॅरामीटर्स

प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंगची वैशिष्ट्ये

- सेवा जीवन सुधारण्यासाठी CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज.

- उच्च-कार्यक्षमता शुद्ध कठोर कार्बनचे बनलेले थर्मल इन्सुलेशन.

- कार्बन/कार्बन संमिश्र हीटर आणि प्लेट. - ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- पिनहोल प्रतिरोध आणि उच्च आयुष्यासाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंग