सच्छिद्र sic चक

सेमीकोरेक्स सच्छिद्र सिक चक हा एक सिरेमिक भाग आहे जो सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी वेफर सब्सट्रेट्सच्या सुरक्षित, कार्यक्षम हाताळणीसाठी सुस्पष्टतेसह एकत्रित केला गेला आहे जसे की तपासणी, चाचणी आणि लिथोग्राफी यासारख्या प्रक्रियेच्या चरणांद्वारे. चक मायक्रो-सॉरीस सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक (एसआयसी) ची निर्मित आहे. एसआयसीमध्ये यांत्रिक सामर्थ्य, रासायनिक प्रतिकार आणि अत्याधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणासाठी आवश्यक थर्मल स्थिरता गुणधर्म आहेत.

सच्छिद्र एसआयसी चकचे एक आवश्यक वैशिष्ट्य म्हणजे त्याचे अद्वितीय मायक्रोस्ट्रक्चर, जे 35%-40%च्या पोर्सिटी दर्शविते. चकच्या घट्टपणे नियंत्रित केलेल्या, ओव्हरलाइंग डिझाइनमुळे व्हॅक्यूम सक्शनला सामान्यत: नाजूक वेफर सब्सट्रेट्स: सिलिकॉन किंवा गॅन आणि इतर कंपाऊंड सेमीकंडक्टर्ससाठी सुसंगत स्थिर आणि संपर्क नसलेले समर्थन समान रीतीने वितरित करण्यास अनुमती देते.  व्हॅक्यूम सक्शन मोड कण दूषित होणे आणि यांत्रिक नुकसान दोन्ही टाळतो, ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान वेफर अखंडता टिकते.

चकचे सिरेमिक बॉडी प्रामुख्याने उच्च शुद्धता एसआयसी असते, ज्यात एल्युमिना (अल 2 ओ 3) सारख्या इतर सिरेमिक्स असतात, संभाव्यत: अनुप्रयोगानुसार मर्यादित संख्येने कार्यशील थरांसाठी वापरले जातात. सामग्रीचे संशोधन आणि विकास वेफर आकार आणि प्रक्रियेच्या अटींवर अवलंबून एअरफ्लो आणि फोर्स धारण करण्यास छिद्र आकार आणि वितरण व्यवस्थापित करण्यास परवानगी देते. पातळ वेफर्सवरील व्हॅक्यूम नियंत्रित करणे महत्वाचे असल्यास, लहान छिद्र आकार समाविष्ट केले जाईल. वेगवान प्रवाह दरासाठी जेथे योग्य असेल तेथे मोठ्या छिद्र आकाराचा वापर केला जाईल.

व्हेरिएबल छिद्र आकार, सिरेमिक रचना आणि फायरिंगच्या परिस्थितीच्या परिणामी सच्छिद्र sic chucs रंग भिन्नता दर्शवितात. सिलिकॉन कार्बाईडचा रंग एकतर राखाडी किंवा काळा असल्याने सिक चक्स काळ्या किंवा गडद राखाडी असतात, तथापि मोठ्या एल्युमिना सामग्रीसह चक्स रंगात नसतात. रंगाच्या रूपांचा उत्पादनाच्या कामगिरीवर कोणताही परिणाम होत नाही आणि विशिष्ट ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी तयार केलेल्या इंजिनियर्ड गुणधर्मांचे केवळ प्रतिनिधित्व करते.

हाय-एंड वेफर प्रोसेसिंग टूल्समध्ये, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व ही दोन सर्वात महत्वाची वैशिष्ट्ये आहेत. सिलिकॉन कार्बाईड गंज गॅस आणि थर्मल सायकलिंगला उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. सच्छिद्र सिक चक यशस्वीरित्या व्हॅक्यूम चेंबर आणि प्लाझ्मा एच टूल्समध्ये कार्यरत आहे आणि वेगाने बदलणार्‍या तापमानासह ते चांगले काम करत आहे. चकची अंधुक स्थिरता राखण्याची त्यांची क्षमता हे सुनिश्चित करते की वेफर एकाच ठिकाणी राहील, जरी अचूकतेची आवश्यकता आयामी स्थिरतेस योगदान देणार्‍या प्रक्रियेनुसार उप-मायक्रॉनच्या खाली असू शकते.

सेमीकोरेक्स सच्छिद्र सिक चक्स अधिकृत फॉर्मिंग आणि सिन्टरिंग प्रक्रियेचा वापर करून बनविल्या जातात जे एकसमान पोर्शिटी, उच्च लवचिक सामर्थ्य आणि कमी थर्मल विस्तार प्रदान करतात. विश्वासार्ह आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य उत्पादन सुनिश्चित करण्यासाठी प्रत्येक चकची छिद्र रचना, सपाटपणा आणि व्हॅक्यूम कामगिरीसाठी तपासणी केली जाते. बॅक-साइड गॅस फ्लो चॅनेल किंवा माउंटिंग वैशिष्ट्ये यासारख्या विशिष्ट वेफर आकार आणि सिस्टम एकत्रीकरण आवश्यकता सामावून घेण्यासाठी सानुकूल डिझाइन देखील उपलब्ध आहेत.

शेवटी, सच्छिद्र एसआयसी चक ही एक उच्च विश्वसनीयता सब्सट्रेट सपोर्ट सिस्टम आहे जी अचूक वेफर प्रक्रियेच्या आवश्यकतांच्या संयोगाने काम करण्यासाठी काळजीपूर्वक डिझाइन केली गेली आहे. उच्च व्हॅक्यूम होल्डिंग क्षमता, सानुकूल करण्यायोग्य छिद्र रचना आणि थकबाकीदार सामग्री स्थिरतेसह, हे आजच्या सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन लाइनमध्ये एक अपरिहार्य उत्पादन आहे.