सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक्स

सेमीकोरेक्स सच्छिद्र SiCव्हॅक्यूम चक्सहे अपरिहार्य घटक आहेत, जे प्रगत अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरण्यास सक्षम आहेत, जसे की वेफर थिनिंग, डाइसिंग, ग्राइंडिंग, पॉलिशिंग, फोटोलिथोग्राफी, एचिंग. त्यांचे शोषण प्लॅटफॉर्म सच्छिद्र SiC सिरेमिक प्लेटसह अनेक समान रीतीने वितरित मायक्रोन-स्केल छिद्रांसह बांधलेले आहे. सातत्यपूर्ण छिद्र व्यास आणि अपवादात्मक थ्रू-होल रेटसह, सेमिकोरेक्स सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक व्हॅक्यूम इव्हॅक्युएशनसाठी एक गुळगुळीत गॅस मार्ग प्रदान करतात. ऑपरेशन दरम्यान, चक आणि वेफरमध्ये स्थिर आणि एकसमान नकारात्मक दाब निर्माण होतो, ज्यामुळे उच्च-कार्यक्षम व्हॅक्यूम क्लॅम्पिंग आणि सेमीकंडक्टर वेफर्स सोडता येतात.

सेमिकोरेक्स सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक्सचे फायदे 

1. अपवादात्मक प्रक्रिया अचूकता

प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये प्रक्रिया केलेले सेमीकंडक्टर वेफर्स अत्यंत पातळ असतात, त्यामुळे अगदी थोडासा वाकणे, कंपन किंवा असमान स्थानिक ताणामुळेही वेफर तुटणे, वार्पिंग होणे आणि लिथोग्राफी सारख्या गंभीर प्रक्रियेत अचूकता कमी होऊ शकते. सेमीकोरेक्ससच्छिद्र SiCव्हॅक्यूम चकची प्रक्रिया उच्च-सुस्पष्टता ग्राइंडिंग आणि पॉलिशिंगद्वारे केली जाते, ज्यामुळे पृष्ठभागाची संपूर्ण खडबडीत Ra ＜ 0.1 μm प्राप्त होते. हे सेमिकोरेक्स सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक्स उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी ऑप्टिमाइझ ऑपरेशनल पृष्ठभाग प्रदान करण्यास सक्षम करते.

2. उच्च स्वच्छता आणि उच्च गंज प्रतिकार

कठोर सेमीकंडक्टर स्वच्छता मानकांची पूर्ण पूर्तता करण्यासाठी, Semicorex उच्च-तापमान सिंटरिंगद्वारे उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड कच्च्या मालासह छिद्रयुक्त SiC व्हॅक्यूम चक तयार करते. हे सुनिश्चित करते की चक कण शेडिंग आणि स्थलांतरित धातूच्या दूषिततेपासून मुक्त आहेत. SiC च्या उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरतेचा फायदा घेऊन, Semicorex सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक कठोर गंज वातावरणाचा सामना करण्यास सक्षम आहेत आणि कोणतेही अतिरिक्त उप-उत्पादने निर्माण करत नाहीत, ज्यामुळे ते उच्च-दर्जाच्या स्वच्छ सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेसाठी अत्यंत अनुकूल बनतात.

3. उत्कृष्ट टिकाऊपणा आणि दीर्घकालीन स्थिरता

उत्पादन ओळींमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या व्हॅक्यूम चक्सने हजारो शोषण आणि सोडण्याचे चक्र तसेच दीर्घकालीन तापमान चढउतारांचा सामना केला पाहिजे. हे व्हॅक्यूम चकच्या भौतिक कार्यक्षमतेवर अत्यंत उच्च आवश्यकता लादते. सेमीकोरेक्स सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक्समध्ये स्थिर थर्मल विस्तारासह उत्कृष्ट सामग्रीची कडकपणा आणि परिधान प्रतिरोधकता असते. उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत ते कोणतेही रेंगाळणे किंवा कार्यक्षमतेत घट दर्शवत नाहीत, ज्यामुळे त्यांचे सेवा आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढते आणि घटकांची देखभाल आणि बदलण्याची वारंवारता कमी होते.