एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स SiC कोटेड RTP कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे. उच्च दर्जाचे कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि MOCVD द्वारे ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स इत्यादींच्या पृष्ठभागावर प्रक्रिया केलेल्या क्वार्ट्ज क्रुसिबलसह, हे उत्पादन वेफर हाताळणी आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी आदर्श आहे. SiC कोटेड वाहक उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा