सेमीकोरेक्सचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर फॉर इंडक्टिव्ह-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP) विशेषतः उच्च-तापमान वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एपिटॅक्सी आणि MOCVD साठी डिझाइन केले आहे. 1600°C पर्यंत स्थिर, उच्च-तापमानातील ऑक्सिडेशन प्रतिरोधनासह, आमचे वाहक अगदी थर्मल प्रोफाइल, लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न सुनिश्चित करतात आणि दूषित किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा