उत्पादने

प्रेरक-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP)

प्रेरक-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP)

सेमीकोरेक्सचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर फॉर इंडक्टिव्ह-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP) विशेषतः उच्च-तापमान वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एपिटॅक्सी आणि MOCVD साठी डिझाइन केले आहे. 1600°C पर्यंत स्थिर, उच्च-तापमानातील ऑक्सिडेशन प्रतिरोधनासह, आमचे वाहक अगदी थर्मल प्रोफाइल, लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न सुनिश्चित करतात आणि दूषित किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करतात.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

उच्च-तापमान, कठोर रासायनिक वातावरण हाताळू शकेल अशा वेफर कॅरियरची आवश्यकता आहे? Inductively-Cupled Plasma (ICP) साठी Semicorex च्या सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर पेक्षा पुढे पाहू नका. आमच्या वाहकांमध्ये एक उत्कृष्ट SiC क्रिस्टल कोटिंग आहे जे उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध, अगदी थर्मल एकरूपता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते.
आमच्या SiC susceptor for Inductively-Coupled Plasma (ICP) बद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.


इंडक्टिव्ह-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP) साठी ससेप्टरचे पॅरामीटर्स

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये

SiC-CVD गुणधर्म

क्रिस्टल स्ट्रक्चर

FCC β फेज

घनता

g/cm ³

3.21

कडकपणा

विकर्स कडकपणा

2500

धान्य आकार

μm

२~१०

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

उष्णता क्षमता

J·kg-1 ·K-1

640

उदात्तीकरण तापमान

2700

फेलेक्सरल सामर्थ्य

MPa (RT 4-पॉइंट)

415

तरुणांचे मॉड्यूलस

Gpa (4pt बेंड, 1300â)

430

थर्मल विस्तार (C.T.E)

10-6K-1

4.5

औष्मिक प्रवाहकता

(W/mK)

300


इंडक्टिवली-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP) साठी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा

उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर

उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.

गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.

गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.

- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा

- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी

- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा





हॉट टॅग्ज: प्रेरक-कपल्ड प्लाझ्मा (ICP), चीन, उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना, सानुकूलित, मोठ्या प्रमाणात, प्रगत, टिकाऊ

संबंधित श्रेणी

चौकशी पाठवा

कृपया खालील फॉर्ममध्ये तुमची चौकशी करण्यास मोकळ्या मनाने द्या. आम्ही तुम्हाला २४ तासांत उत्तर देऊ.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept