रोबोट एंड इफेक्टर

रोबोट एंड इफेक्टर हा रोबोटचा हात आहे जो सेमीकंडक्टर वेफर्सला वेफर प्रोसेसिंग इक्विपमेंट आणि वाहकांमधील पोझिशन्स दरम्यान हलवतो. रोबो एंड इफेक्टर मितीयदृष्ट्या अचूक आणि थर्मलली स्थिर असणे आवश्यक आहे, तसेच उपकरणांना नुकसान न करता किंवा कण दूषित न करता वेफर्स सुरक्षितपणे हाताळण्यासाठी गुळगुळीत, घर्षण-प्रतिरोधक पृष्ठभाग असणे आवश्यक आहे. आमची उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग रोबोट एंड इफेक्टर उच्च उष्णता प्रतिरोधकता प्रदान करते, अगदी सातत्यपूर्ण एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकसमानता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते.

रोबोट एंड इफेक्टरचे पॅरामीटर्स

रोबोट एंड इफेक्टरची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता

गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित

रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा

मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.