SiC बोटी

सेमीकोरेक्सSiCबोटी या अचूक-अभियांत्रिकी सिरेमिक वेफर होल्डर आहेत ज्या विशेषतः सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उत्पादनामध्ये प्रसार प्रक्रियेसाठी डिझाइन केल्या आहेत. डोपेंट्सच्या थर्मल डिफ्यूजन दरम्यान सिलिकॉन वेफर्स सुरक्षितपणे धारण करून उच्च-गुणवत्तेच्या इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांचे उत्पादन सक्षम करण्यात हे उच्च-कार्यक्षमता घटक महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक क्षरणास प्रतिकार, उच्च-तापमान आणि रासायनिकदृष्ट्या मागणी असलेल्या वातावरणात त्यांना अपरिहार्य बनविण्यासह त्यांच्या उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्मांमुळे SiC बोटी मोठ्या प्रमाणावर स्वीकारल्या जातात.

डिफ्यूजन प्रक्रियेतील अनुप्रयोग

SiC बोट्स प्रामुख्याने प्रसार प्रक्रियेत वापरल्या जातात, सेमीकंडक्टर आणि सौर सेल फॅब्रिकेशनमधील एक महत्त्वपूर्ण टप्पा. या प्रक्रियेमध्ये फॉस्फरस किंवा बोरॉन सारख्या डोपेंट्सचा विद्युत गुणधर्म सुधारण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्समध्ये प्रवेश करणे समाविष्ट आहे. एकसमान डोपेंट वितरण आणि सुसंगत वेफर गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी डिफ्यूजनसाठी अचूक थर्मल व्यवस्थापन आणि रासायनिकदृष्ट्या स्थिर वातावरण आवश्यक आहे. SiC बोटींची उच्च-तापमान क्षमता आणि टिकाऊपणा त्यांना या ऍप्लिकेशनसाठी आदर्श बनवते, विशेषत: एन-टाइप TOPCon (टनेल ऑक्साईड पॅसिव्हेटेड कॉन्टॅक्ट) आणि इतर पुढच्या पिढीतील फोटोव्होल्टेइक सेलसारख्या प्रगत सौर सेल तंत्रज्ञानामध्ये.

SiC बोटींची प्रमुख वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता:

SiC बोटी 86.5% शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्ससह तयार केल्या जातात. हे प्रसार प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सचे कमीतकमी दूषित होण्याची खात्री देते, सेमीकंडक्टर-ग्रेड सामग्रीसाठी आवश्यक उच्च मानके राखून.

थर्मल स्थिरता:

सिलिकॉन कार्बाइडची अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि थर्मल शॉकचा प्रतिकार बोटींना तापमानातील जलद बदलांना तोंड देण्यास आणि 1,000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमानात संरचनात्मक अखंडता राखण्यास सक्षम करते. ही स्थिरता एकाधिक प्रसार चक्रांमध्ये विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करते.

रासायनिक प्रतिकार:

फॉस्फिन आणि बोरॉन ट्रायक्लोराईड सारख्या प्रतिक्रियाशील डोपंट वायूंच्या संपर्कात असतानाही SiC बोटी रासायनिक गंजांना उत्कृष्ट प्रतिकार दर्शवतात. ही मालमत्ता दीर्घकालीन टिकाऊपणा सुनिश्चित करते आणि दूषित होण्याचा धोका कमी करते.

अचूक अभियांत्रिकी:

विविध व्यासांचे वेफर्स सुरक्षितपणे सामावून घेण्यासाठी SiC बोटींचे डिझाइन उच्च सुस्पष्टतेवर भर देते. प्रगत उत्पादन तंत्रे स्वयंचलित हाताळणी प्रणालींसह एकसमानता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करतात, उच्च-थ्रूपुट उत्पादन ओळींमध्ये ऑपरेशनल कार्यक्षमता सुधारतात.

टिकाऊपणा आणि दीर्घायुष्य:

SiC बोटींमध्ये असाधारण पोशाख प्रतिरोध असतो, जे इतर सामग्रीच्या तुलनेत त्यांचे सेवा आयुष्य लक्षणीय वाढवते. ही टिकाऊपणा बदलण्याची वारंवारता कमी करून उत्पादकांसाठी खर्च बचत करण्यासाठी अनुवादित करते.

सानुकूलित पर्याय:

सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उत्पादकांच्या वैविध्यपूर्ण आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी, SiC बोटी आकारमान, वेफर क्षमता आणि डिझाइन वैशिष्ट्यांनुसार सानुकूलित केल्या जाऊ शकतात. ही लवचिकता विशिष्ट प्रसार प्रणाली आणि प्रक्रियांशी सुसंगतता सुनिश्चित करते.

प्रसार प्रक्रियेत SiC बोटींचे फायदे

क्वार्ट्ज किंवा ग्रेफाइट सारख्या पारंपारिक सामग्रीपेक्षा SiC बोटी वेगळे फायदे देतात:

दूषित होण्याचा धोका कमी:

च्या उच्च शुद्धतासिलिकॉन कार्बाइडप्रसार प्रक्रियेदरम्यान वेफरच्या गुणवत्तेशी तडजोड करू शकतील अशा अशुद्धतेचे प्रकाशन कमी करते.

सुधारित प्रक्रिया कार्यक्षमता:

SiC ची थर्मल चालकता सर्व वेफर्समध्ये एकसमान उष्णतेचे वितरण सुनिश्चित करते, डोपंट प्रसार सुसंगतता वाढवते आणि दोष कमी करते.

वर्धित सुरक्षा आणि विश्वासार्हता:

SiC चे यांत्रिक सामर्थ्य आणि उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत विकृतीला प्रतिकार करणे सुरक्षित ऑपरेशनमध्ये योगदान देते आणि प्रसार वातावरणाची मागणी करण्यासाठी अधिक विश्वासार्ह परिणाम देते.

टिकाऊपणा:

SiC बोटींचे दीर्घ सेवा आयुष्य कचरा कमी करते आणि पर्यावरणीयदृष्ट्या टिकाऊ उत्पादन पद्धतींना समर्थन देते.

प्रसार पलीकडे अनुप्रयोग

प्रसार प्रक्रिया SiC बोट्सच्या प्राथमिक वापराचे प्रतिनिधित्व करत असताना, त्यांचे मजबूत गुणधर्म त्यांना इतर उच्च-तापमान आणि रासायनिक आक्रमक प्रक्रियांसाठी योग्य बनवतात, यासह:

• सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ऑक्सिडेशन आणि ॲनिलिंग.
• पातळ-फिल्म वाढीसाठी रासायनिक वाष्प जमा (CVD) प्रक्रिया.
• प्रगत फोटोव्होल्टेइक सेल उत्पादनात उच्च-तापमान प्रक्रिया.

SiC बोटी प्रसार प्रक्रियेतील आवश्यक घटक आहेत, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उपकरणांचे अचूक आणि विश्वासार्ह उत्पादन सक्षम होते. त्यांच्या अतुलनीय भौतिक गुणधर्मांसह, टिकाऊपणा आणि सानुकूलित पर्यायांसह, या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर धारकांनी उच्च-तापमान आणि रासायनिकदृष्ट्या मागणी असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये कामगिरीसाठी एक नवीन मानक स्थापित केले आहे. Semicorex च्या SiC बोटी उद्योगाच्या विकसित गरजा पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत, उत्पादकांना वाढत्या स्पर्धात्मक बाजारपेठेत पुढे राहण्यासाठी आवश्यक साधने प्रदान करतात.