SiC Cantilever पॅडल

Semicorex SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) Cantilever Paddle हा एक महत्त्वाचा घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जातो, विशेषत: प्रसार आणि RTP (रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग) यांसारख्या प्रक्रियेदरम्यान डिफ्यूजन किंवा LPCVD (लो-प्रेशर केमिकल वाफ डिपॉझिशन) फर्नेसमध्ये. हे या भट्टींच्या प्रक्रिया ट्यूबमध्ये वेफर्सला समर्थन आणि वाहतूक करण्याच्या उद्देशाने कार्य करते.

Semicorex SiC Cantilever Paddle हे प्रामुख्याने सिलिकॉन कार्बाइडचे बनलेले आहे, एक मजबूत आणि थर्मलली स्थिर मटेरियल जे त्याच्या उच्च-तापमान प्रतिकार आणि उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते. सेमीकंडक्टर फर्नेसच्या उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या वातावरणात आलेल्या कठोर परिस्थितींना तोंड देण्याच्या क्षमतेसाठी SiC निवडले जाते. SiC Cantilever पॅडलचे डिझाईन ट्यूबच्या बाहेर एका टोकाला घट्टपणे अँकर केलेले असताना ते भट्टीच्या प्रक्रिया ट्यूबमध्ये वाढवण्याची परवानगी देते. हे डिझाइन भट्टीच्या आतल्या थर्मल वातावरणातील हस्तक्षेप कमी करताना प्रक्रिया केल्या जाणाऱ्या वेफर्ससाठी स्थिरता आणि समर्थन सुनिश्चित करते.

SiC Cantilever Paddle हे डिफ्यूजन आणि RTP सारख्या विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान प्रक्रिया ट्यूबमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे वाहून नेण्यासाठी आहे. त्याचे मजबूत बांधकाम हे सुनिश्चित करते की ते या प्रक्रियेदरम्यान येणारे अत्यंत तापमान आणि रासायनिक वातावरणाचा ऱ्हास किंवा अपयशाशिवाय सामना करू शकते. SiC Cantilever Paddles हे उद्योगात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या अर्धसंवाहक वेफर आकार आणि आकारांच्या विस्तृत श्रेणीशी सुसंगत होण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. ते बऱ्याचदा विशिष्ट फर्नेस कॉन्फिगरेशन आणि प्रक्रिया आवश्यकता सामावून घेण्यासाठी सानुकूल करण्यायोग्य असतात.