Sic सिरेमिक बोटी

सेमीकोरेक्स एसआयसी सिरेमिक बोटी अत्याधुनिक वाहक आहेत ज्यात विशेषत: रासायनिक आणि औष्णिकदृष्ट्या अत्यंत वातावरणात सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे वाहतूक करणे, संचयित करणे आणि प्रक्रिया करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. सेमीकंडक्टर इंडस्ट्रीने नवीन कामगिरीचे नवीन मानक वेगाने स्वीकारले आहेत ज्यात एसआयसी सिरेमिक बोटींना विश्वसनीयरित्या, विश्वासाने आणि दूषितपणा-मुक्त करण्यासाठी आधुनिक वेफर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेसाठी असहिष्णु आणि गंभीर मागण्या साध्य करणे आवश्यक आहे.

मजबूत थर्मल स्थिरता आणि सामर्थ्य

एसआयसी सिरेमिक बोटींचे परिभाषित गुणधर्म म्हणजे त्याची अत्यंत उच्च थर्मल स्थिरता. आक्रमक थर्मल सायकलिंग प्रक्रियेदरम्यान एसआयसी सिरेमिक बोटी 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमान सहन करू शकतात. अल्ट्रा-लो थर्मल विस्तार गुणांकांमुळे, एसआयसी सिरेमिक बोटी विकृती आणि क्रॅक होण्याची शक्यता कमी असतात, ज्यामुळे कडक परिस्थितीत हाताळताना घट्ट सहिष्णुता आणि एकूणच वेफर सुरक्षितता मिळते.

उच्च शुद्धता आणि रासायनिक प्रतिकार

एसआयसी सिरेमिक बोटी अल्ट्रा-हाय शुद्ध सिलिकॉन कार्बाईडमधून बनावटी आहेत. एसआयसी सिरेमिक नौका रासायनिक अधोगती, संक्षारक आणि इरोडिंग प्लाझ्मा देखील अत्यंत प्रतिरोधक आहेत. एसआयसी सिरेमिक बोटींचे जड स्वरूप म्हणजे संक्षारक वायू, प्रतिक्रियाशील वातावरण, अम्लीय परिस्थिती एकतर बोटीपासून दूषित होऊ शकत नाही किंवा कार्यरत प्रक्रियेस हानी पोहोचविण्यास विद्रव्य काहीही होणार नाही. एसआयसी सिरेमिक बोटींची नॉन-दूषित पृष्ठभाग कण निर्मिती किंवा आयन लीचिंग सक्षम करते अशा प्रकारे डिव्हाइसची कार्यक्षमता किंवा उत्पादनास अडथळा आणणार्‍या अशुद्धीमुळे वेफर पृष्ठभाग धोक्यात येत नाही.

सुरक्षित आणि सुरक्षित वेफर हाताळणीसाठी प्रेसिजन अभियांत्रिकी

एसआयसी सिरेमिक बोटी घट्ट सहिष्णुतेत तयार केल्या जातात, ज्यामुळे त्यांना 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी आणि बरेच काही यासह विविध व्यासांचे वेफर्स हाताळण्याची परवानगी मिळते. एसआयसी बोटींचे स्ट्रक्चरल डिझाइन योग्य वेफर लॅपिंग अभिमुखता राखण्यासाठी उत्कृष्ट सपाटपणा, समांतरता आणि एकसमान स्लॉट आकार प्रदान करते आणि दुसर्‍या प्रक्रियेत किंवा साधनात हस्तांतरित करताना वेफरच्या काठाचे संरक्षण करते. सर्व एसआयसी बोटी टूल सेटशी जुळण्यासाठी किंवा कोणत्याही ऑटोमेशन वैशिष्ट्यांसह सानुकूल परिमाणांसह डिझाइन केल्या जाऊ शकतात.

दीर्घ आयुष्य आणि अधिक खर्च कार्यक्षम

एसआयसी पारंपारिक साहित्य (क्वार्ट्ज, एल्युमिना) ची जागा लक्षणीय सुधारित यांत्रिक सामर्थ्य, फ्रॅक्चर टफनेस आणि थर्मल शॉक प्रतिरोधांसह बदलते. टिकाऊपणाची ही पातळी "अपयश" होण्यापूर्वी दीर्घकाळ आयुष्यभर भाषांतरित करते, ऑपरेशन दरम्यान लक्षणीय प्रमाणात बदल आणि मालकीची एकूण किंमत कमी. एसआयसीच्या टिकाऊपणापासून कामगिरीमध्ये सुसंगतता कमी वेळा कमी होईल आणि सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग लाइनवरील थ्रूपुटला गती देईल.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत ओपन अनुप्रयोग

फ्रंट-एंड सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत सिक सिरेमिक बोटी मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात जसे:

एलपीसीव्हीडी आणि पीईसीव्हीडी जमा

थर्मल ऑक्सिडेशन

आयन रोपण

En नीलिंग आणि प्रसार

वेफर साफसफाई आणि रासायनिक प्रक्रिया

एसआयसी सिरेमिक हँडल्समध्ये वातावरण आणि व्हॅक्यूम प्रोसेस चेंबर या दोहोंमध्ये सुसंगत प्रक्रिया अनुप्रयोग आहेत, ज्यामुळे उत्पादकता वाढवताना दूषित होण्याचा धोका कमी आणि कमी करण्याच्या दृष्टीने फाउंड्री आणि फॅबसाठी एक आदर्श निवड आहे.