SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्जन डिस्क

सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्शन डिस्क हे सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल उपकरणांमध्ये लागू केलेले अपरिहार्य ग्रेफाइट घटक आहेत, विशेषत: प्रतिक्रिया वायू प्रवाहाचे नियमन करण्यासाठी आणि प्रतिक्रिया कक्षातील एकसमान वायू वितरणास प्रोत्साहन देण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहेत. Semicorex निवडा, उच्च-गुणवत्तेच्या वेफर एपिटॅक्सियल परिणामांसाठी इष्टतम गॅस डायव्हर्शन सोल्यूशन्स निवडा.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

प्रगत सेमीकंडक्टर-ग्रेड मटेरियल आणि अत्याधुनिक उत्पादन तंत्रज्ञानाचे उत्कृष्ट उदाहरण म्हणून उभे राहून, SemicorexSiC-लेपितगॅस डायव्हर्शन डिस्क्स उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून अचूकपणे तयार केल्या जातात कारण त्यांचे मॅट्रिक्स रासायनिक वाष्प साचून दाट SiC कोटिंगसह असतात. गॅस डायव्हर्शन डिस्क्स मुख्यत्वे वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने प्रतिक्रिया वायू वितरीत करण्यासाठी डिझाइन केल्या जातात ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान संपूर्ण प्रतिक्रिया सुनिश्चित होतात, अशा प्रकारे एकसमान आणि एकसमान एकल-क्रिस्टल पातळ फिल्म्स तयार करणे सुलभ होते.

सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्जन डिस्कचे फायदे

1. उच्च सामग्री शुद्धता

सेमिकोरेक्स काळजीपूर्वक सामग्री निवडीपासून सुरुवात करून कडक उत्पादन गुणवत्ता मानकांचे समर्थन करते. कच्च्या मालाच्या या कठोर शुद्धता नियंत्रणामुळे धन्यवाद, Semicorex SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्जन डिस्क्स कमी अशुद्धता सामग्री देतात आणि उत्कृष्ट स्वच्छतेचा अभिमान बाळगतात. हे मेटल आयन आणि इतर दूषित घटकांना अर्धसंवाहक एपिटॅक्सियल प्रक्रियांशी तडजोड करण्यापासून रोखू शकते.

2.सुपीरियर थर्मल स्थिरता

या प्रणालींमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या घटकांना अपवादात्मक थर्मल स्थिरता असणे आवश्यक आहे कारण सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल उपकरणे सामान्यत: 1400 डिग्री सेल्सिअसपेक्षा जास्त तापमानात कार्यरत असतात. ही अपवादात्मक थर्मल स्थिरता सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्शन डिस्क्स आव्हानात्मक उच्च-तापमान ऑपरेटिंग परिस्थितीला तोंड देऊ शकतात आणि ऑपरेशन दरम्यान उच्च तापमानामुळे होणारी अशुद्धता प्रभावीपणे रोखू शकतात, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल वेफर्सची गुणवत्ता आणि उत्पादन हमी मिळण्यास मदत होते.

3. उल्लेखनीय उच्च तापमान गंज प्रतिकार

असुरक्षित ग्रेफाइट मॅट्रिक्स गंज आणि कण निर्मितीसाठी प्रवण असतात, म्हणूनच गॅस डायव्हर्शन डिस्कवर सामान्यतः सिलिकॉन कार्बाइड लेपने उपचार केले जातात ज्यामुळे त्यांची गंज प्रतिरोधकता वाढते. दाट SiC कोटिंगने झाकलेले, Semicorex SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्शन डिस्क उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन आणि रासायनिक गंज प्रतिकार देतात, ज्यामुळे ते आव्हानात्मक उच्च-तापमान आणि संक्षारक ऑपरेटिंग परिस्थितीतही दीर्घ सेवा जीवनात स्थिरपणे कार्य करण्यास सक्षम करतात.

4. लवचिक सानुकूलन क्षमता

Semicorex अनेक प्रगत प्रक्रिया उपकरणांसह सुसज्ज आहे, जसे की CNC मशीनिंग उपकरणे, पृष्ठभाग ग्राइंडिंग मशीन आणि अल्ट्रासोनिक ड्रिलिंग उपकरणे, अनुभवी प्रक्रिया क्षमता ऑफर करतात. Semicorex ग्राहकांच्या रेखाचित्रांनुसार लवचिक कस्टमायझेशन सेवा ऑफर करण्यास सक्षम आहे आणि ग्राहकांच्या एपिटॅक्सियल उपकरणांसह अखंड सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी SiC-कोटेड गॅस डायव्हर्शन डिस्कचे परिमाण, सहिष्णुता, पृष्ठभाग सपाटपणा, छिद्र व्यास आणि छिद्रांचे अंतर तयार करण्यास सक्षम आहे.