SiC फोकस रिंग

सेमीकोरेक्स प्रगत, उच्च-शुद्धता असलेल्या SiC फोकस रिंग्स प्लाझ्मा इच (किंवा ड्राय इच) चेंबरमध्ये अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केल्या जातात. आम्ही सेमीकंडक्टर उद्योगांवर लक्ष केंद्रित करतो जसे की सिलिकॉन कार्बाइड स्तर आणि एपिटॅक्सी सेमीकंडक्टर. आमच्या उत्पादनांचा किमतीचा चांगला फायदा आहे आणि त्यामध्ये अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश होतो. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकोरेक्स पुरवठा SiC फोकस रिंग्स RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखरच स्थिर आहे. SiC फोकस रिंग्स किंवा एज रिंग्स वेफर एज किंवा परिमितीभोवती नक्षी एकसारखेपणा सुधारण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत. प्लाझ्मा ईच प्रक्रियेच्या कठोरतेसाठी तयार केलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या घटकांसह प्रदूषण आणि अनियोजित देखभाल कमी करा. SiC कोटिंगसह आमची SiC फोकस रिंग एक दाट, परिधान-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग आहे. यात उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. आम्ही रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेचा वापर करून ग्रेफाइटवर पातळ थरांमध्ये SiC लागू करतो.

SiC फोकस रिंग्सचे पॅरामीटर्स

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

SiC फोकस रिंग्सची वैशिष्ट्ये

- सेवा जीवन सुधारण्यासाठी CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज.

- उच्च-कार्यक्षमता शुद्ध कठोर कार्बनचे बनलेले थर्मल इन्सुलेशन.

- कार्बन/कार्बन संमिश्र हीटर आणि प्लेट. - ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- पिनहोल प्रतिरोध आणि उच्च आयुष्यासाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंग