एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूब

सेमीकोरेक्स एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूब उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिकपासून ऑक्सिडेशन, प्रसार किंवा एनीलिंग प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले आहे जे सामान्यत: 1600 डिग्री सेल्सिअस तापमानात केले जाते. क्षैतिज किंवा अनुलंब, सिक फर्नेसचा एक भाग म्हणून, हे नियंत्रित वातावरण आहे जे ऑक्सिडायझिंग करताना वेफर्स गरम केले जातात. ऑक्सिडेशन ट्यूबचे कार्य म्हणजे सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) वेफर्सच्या थर्मल ट्रीटमेंटसाठी स्वच्छ, एकसमान आणि स्थिर वातावरण प्रदान करणे पॉवर डिव्हाइस आणि वाइड बँडगॅप सेमीकंडक्टर्सच्या फॅब्रिकेशनमध्ये, स्थिर संभाव्य ऑक्सिडायझिंग प्रक्रियेचे छिद्र म्हणून ऑक्सिडेशन ट्यूब प्रथम वापरासाठी उपभोग्य लक्ष्यित म्हणून कार्य करते. क्वार्ट्ज आणि एल्युमिना ट्यूब्स बहुतेक वेळा विचलन, वार्पिंग किंवा रासायनिक बिघाडून वेळोवेळी तुटलेले आढळले आहेत, तर सिलिकॉन कार्बाईडमध्ये थर्मल शॉक आव्हाने, यांत्रिक मालमत्ता वाढ आणि रासायनिक जडत्व विरूद्ध अपवादात्मक टिकाऊपणा आहे. या घटकांनी उच्च विश्वसनीयता, उच्च थ्रूपूट वातावरणात ऑक्सिडेशन ट्यूबसाठी एक उत्तम पर्याय म्हणून सिलिकॉन कार्बाईड मिळविला.

कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग आणि प्रेशरलेस सिन्टरिंग (किंवा रीक्रिस्टलायझेशन) सारख्या प्रगत फॉर्मचा वापर करून, अर्धिकृतिकेक्स एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूब तयार करते ज्यात दाट, गॅस-घट्ट आणि एकसंध मायक्रोस्ट्रक्चर आहे. हे पोर्सिटीच्या जोखमीशिवाय सामर्थ्य प्रदान करते, ज्यामुळे ऑक्सिडेशन प्रक्रिया दूषित न करता पुढे जाऊ शकते. एसआयसीमध्ये खूप उच्च थर्मल चालकता आहे, ज्यामुळे वेफर लोड झोनमध्ये एकसमान थर्मल वितरण होऊ शकते आणि अशा प्रकारे थर्मल ग्रेडियंट्स कमी होतात ज्यामुळे वेफर्स किंवा दोष होऊ शकतात. अ‍ॅसिड्स, बेस आणि रिअॅक्टिव्ह वायूंचा ट्यूबचा प्रतिकार वेफर पृष्ठभागासह आणि भट्टीच्या वातावरणाद्वारे अवांछित रासायनिक संवादांना प्रतिबंधित करते.

हे रेंगाळत नाही, ते विकृत होत नाही. उत्पादनाच्या अनेक चक्रांनंतर ट्यूबची जागा घेण्याची गरज नाही-हे दीर्घकालीन थर्मल सायकलिंग वातावरण आहे जे अन्यथा कमी सामग्री नष्ट करेल. म्हणूनच, कोणत्याही उच्च वारंवारतेचा व्यत्यय म्हणजे कमी ऑपरेटिंग खर्च आणि यामुळे कोणत्याही व्यत्ययांशिवाय प्रक्रिया प्रवाह चालू ठेवते. यामुळे दूषित होण्याचे जोखीम देखील कमी होते ज्यामुळे पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये उत्पादनाची कार्यक्षमता कमी होऊ शकते जिथे ट्रेस अशुद्धतेची महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. सेमीकोरेक्स कोणत्याही फर्नेस प्लॅटफॉर्म आणि वापरलेल्या रेसिपीसाठी मानक आणि पूर्णपणे सानुकूलित ट्यूब परिमाण तयार करते. अंतर्गत आणि बाह्य व्यास, लांबी, भिंतीची जाडी आणि पृष्ठभाग समाप्त हे सर्व पॅरामीटर्स आहेत ज्यांना भिन्न विशिष्ट थर्मल आणि यांत्रिक गरजा भागविण्यासाठी समायोजन आवश्यक असू शकते; प्रयोगशाळेच्या-प्रमाणात आर अँड डी फर्नेसेसपासून मोठ्या मॅन्युफॅक्चरिंग लाइनपर्यंत-प्रत्येक प्रकरणात जिथे ट्यूबला कामगिरीची हमी देण्यासाठी मशीनिंग, साफसफाई आणि तपासणीची आवश्यकता असते.

गुणवत्ता नियंत्रण प्रत्येक एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूबसाठी आयामी तपासणी, सामग्री घनता चाचण्या आणि थर्मल सायकल विश्वसनीयता प्रमाणीकरणासह प्रारंभ होते. एक मजबूत सामग्री ट्रेसिबिलिटी सिस्टम उत्पादनास त्याच्या कच्च्या पावडरच्या टप्प्यातून अंतिम तपासणीपर्यंत लॉग करते. अशा प्रकारचे गुणवत्ता ग्राहकांना आमच्या एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूबच्या दीर्घकालीन स्थिरता आणि पुनरुत्पादकतेमध्ये स्थिर हात देते.

सेमीकोरेक्स निवडा आणि पुरवठादारात भागीदार मिळवा जो प्रगत सिरेमिक अभियांत्रिकीला ब्रॉड प्रोसेस कंट्रोल आणि प्रतिसादात्मक तांत्रिक समर्थनासह अगदी सुरुवातीपासूनच एकत्र काम करून जोडतो. आम्ही आपल्या विशिष्ट भट्टीचे वातावरण, प्रक्रिया आवश्यकता आणि एकत्रीकरण आव्हानांबद्दल शिकतो जेणेकरून आम्ही आपल्याला आपल्या प्रक्रियेचे परिणाम तसेच टूल अपटाइम सुधारण्यासाठी सानुकूलित समाधान देऊ शकतो.

सेमीकोरेक्स एसआयसी ऑक्सिडेशन ट्यूब रासायनिक स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्यासह सर्वोत्तम संभाव्य थर्मल कामगिरी वितरीत करते. ऑक्सिडेशन दरम्यान एकसमान थर्मल वातावरण प्रदान करून आणि प्रगत सेमीकंडक्टर मटेरियलला एनीलिंगद्वारे कोणत्याही उच्च-तापमान एसआयसी प्रक्रिया प्रणालीचे हृदय बनते. ज्या उत्पादकांना भट्टीचे घटक विश्वसनीय, स्वच्छ आणि दीर्घकाळ टिकतात, सेमीकोरेक्स हे ज्ञान आणि अनुभवाद्वारे समर्थित उत्पादनांची निवड असेल तसेच सर्वोत्कृष्ट काहीही वितरित करण्याचे एक मानक असेल.