सेमीकोरेक्स एसआयसी पाईप्स हाय-परफॉरमन्स सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक घटक आहेत जे सेमीकंडक्टर फर्नेस अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले आहेत, अपवादात्मक थर्मल, मेकॅनिकल आणि केमिकल स्थिरता मागणी प्रक्रियेच्या वातावरणात वितरीत करतात. सुसंगत गुणवत्ता, विस्तारित सेवा जीवन आणि जास्तीत जास्त भट्टीची कार्यक्षमता सुनिश्चित करणार्या सुस्पष्ट-इंजिनियर्ड एसआयसी पाईप्ससाठी अर्धिकरण निवडा.*
सेमीकोरेक्स एसआयसी पाईप्स सेमीकंडक्टर फर्नेस सिस्टमसाठी सिरेमिक भाग आहेत. त्यांच्याकडे अद्वितीय गुणधर्म आहेत ज्यात उच्च थर्मल ट्रांसमिशन आणि उच्च -तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार समाविष्ट आहेत जे अर्धसंवाहक अनुप्रयोगांमध्ये आवश्यक आहेत जेथे अत्यंत उच्च -तापमान आणि रासायनिक पर्यावरणीय परिस्थिती आहेत जी अपेक्षित आहेत आणि जेथे गुणधर्म इष्ट आहेत - टिकाऊपणा, उर्जा कार्यक्षमता आणि अनोखी स्थिर प्रक्रिया अटी - जे प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात आर्थिकदृष्ट्या अनुमती देतात.
सेमीकोरेक्स sic पाईप्स उच्च-शुद्धता बारीक-धान्य वापरतातसिलिकॉन कार्बाईडप्रगत सिन्टरिंग आणि रीक्रिस्टलायझेशन पद्धती आणि तंत्राच्या परिणामी अपवादात्मक उच्च-तापमान यांत्रिक स्थिरता असणे हे तयार केले जाते. उच्च-कार्यक्षमता एसआयसीच्या परिणामी अपवादात्मक यांत्रिक सामर्थ्य आणि उच्च ऑपरेटिंग तापमानात थर्मल स्थिरतेची धारणा. एसआयसीमध्ये अपवादात्मक कठोरता आहे जी पोशाख कमी करते किंवा संभाव्य विकृती कमी करते. याव्यतिरिक्त, एसआयसी गुणधर्मांशी संबंधित विशेषता थर्मल विस्ताराची कमी-इंधन सह-कार्यक्षमता फायदेशीर आहेत कारण ते थर्मल ताण मर्यादित करतात कारण अत्यंत उच्च आणि कमी ऑपरेटिंग उष्णतेच्या दरम्यान या सामग्रीस सायकल चालविण्याची आवश्यकता असेल. या सर्व बाबींमध्ये त्यांच्याकडे डिफ्यूजन फर्नेसेस, ऑक्सिडेशन फर्नेसेस आणि एलपीसीव्हीडी/पीईसीव्हीडी सिस्टममधील आदर्श अनुप्रयोगांसाठी एक विशेष उपयुक्तता आहे ज्यायोगे जास्तीत जास्त स्थिर प्रक्रियेची परिस्थिती कमी करण्यासाठी फायदेशीर आहे, किंवा मर्यादा, अत्यंत स्थिर, अगदी प्रक्रियेच्या अटींशी संबंधित मेट्रिक्स देखील आहेत.
एसआयसी पाईप्सची आणखी एक महत्त्वाची उपयुक्तता म्हणजे विशिष्ट परिस्थितीत उच्च थर्मल कंडक्शन प्रोफाइल आणि प्रक्रियेच्या संपूर्ण तापमानाचे उच्च दर आणि महत्त्वपूर्ण आणि स्थिर वितरण करण्यासाठी लागू असलेल्या भट्टी डिझाइन. हे विश्वसनीय वर्तन वाफर्सला वाजवी वेळ अंतराने अर्ध-समान तापमान वितरणास सामोरे जाण्याची परवानगी देते आणि त्याव्यतिरिक्त फिल्म जमा स्थितीत सुधारणा करताना फ्लॅट-बॉटमड विकृत आणि/किंवा डिफेक्टेड वेफर्स कमी करण्यासाठी थर्मल ग्रेडियंट्स मर्यादित करणे.
रासायनिक स्थिरता आणि प्रतिकार हा आणखी एक महत्त्वाचा कामगिरी घटक आहे. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये, फर्नेस ट्यूब ऑक्सिजन, हायड्रोजन, अमोनिया आणि सर्व हॅलोजेनसह अत्यंत प्रतिक्रियाशील वायूंच्या प्रभावास सामोरे जाते, ज्यामुळे पारंपारिक सामग्री वेगवान पद्धतीने कमी होऊ शकते. दाट आणि नॉन-सच्छिद्र मायक्रोस्ट्रक्चर, एसआयसीच्या रासायनिकदृष्ट्या जड स्वरूपासह, अत्यंत प्रक्रियेच्या वातावरणात ऑपरेशनल आणि यांत्रिकी कार्यक्षमता देताना ऑक्सिडेशन आणि गंजपासून त्याचे संरक्षण करते. एसआयसी फर्नेसेसची टिकाऊपणा त्यांना दीर्घ कालावधीत फॉर्मची अखंडता आणि मितीय अचूकता राखण्यास मदत करते, जे प्रक्रिया नियंत्रण आणि स्थिरतेसाठी महत्वाचे आहे.
फर्नेस डिझाइन आणि प्रक्रियेच्या गरजा भागविण्यासाठी भौमितिक आकाराचे आकार आणि भिंतीच्या जाडीच्या विस्तृत श्रेणीमध्ये एसआयसी पाईप्स तयार केले जाऊ शकतात. एसआयसी पाईप्सच्या डिझाइन आणि उत्पादनादरम्यान अचूक अचूक मशीनिंग वैशिष्ट्ये देखील राखली जातात जेणेकरून लॅमिनेर गॅस प्रवाह आणि एकसमान थर्मल प्रोफाइलचा संतुलन राखण्यासाठी गुळगुळीत अंतर्गत पृष्ठभाग आणि उत्कृष्ट एकाग्रतेसह ऑपरेशनल टॉलरन्स घट्ट असू शकतात. पृष्ठभाग पॉलिशिंग आणि कोटिंग्ज उपचार पर्याय म्हणून प्रदान केले जाऊ शकतात जे कण पिढी कमी करून आणि गंज प्रतिकार सुधारून कार्यक्षमता वाढवेल.
क्वार्ट्ज किंवा एल्युमिना पाईप्स सारख्या वैकल्पिक सामग्रीच्या तुलनेत एसआयसी पाईप्सचे स्पष्ट ऑपरेशनल आणि खर्चाचे फायदे आहेत. एसआयसी घटकांसाठी प्रारंभिक किंमत थोडी जास्त असू शकते, परंतु उत्पादनाचे आयुष्य, ब्रेक कमी होणे आणि देखभाल कमी करण्याच्या आवश्यकतेमुळे मालकीची एकूण किंमत वैकल्पिक सामग्री आणि पाईप्सपेक्षा कमी खर्च आहे.
निष्कर्ष काढण्यासाठी, सेमीकोरेक्सSicसेमीकंडक्टर फर्नेस applications प्लिकेशन्ससाठी पाईप्स हा एक उत्तम पर्याय आहे, कारण ते उत्पादन वातावरणाची मागणी करण्यासाठी उत्कृष्ट थर्मल कामगिरी, यांत्रिक सामर्थ्य, रासायनिक प्रतिकार आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. ही सामग्री प्रक्रिया स्थिरता सुधारते आणि डाउन-द-रोड किंमतीची बचत आणि कार्यक्षमता (म्हणजे कमी उर्जा वापर) मध्ये मदत करते. आधुनिक सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसाठी एसआयसी पाईप्स ही एक मूलभूत सामग्री आहे.