SiC प्रक्रिया ट्यूब

Semicorex SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) प्रक्रिया ट्यूब हा एक विशेष घटक आहे जो वेफर उष्णता उपचार प्रक्रियेत वापरला जातो, विशेषत: उच्च तापमान, संक्षारक वातावरण किंवा दोन्ही आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये. हे उष्णता उपचार किंवा थर्मल प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्ससाठी संरक्षणात्मक आणि नियंत्रित वातावरण प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.

सीलबंद चेंबर तयार करण्यासाठी प्रक्रिया ट्यूब काळजीपूर्वक तयार केली जाते जिथे उष्मा उपचारासाठी वेफर्स ठेवले जातात. हे एक अडथळा म्हणून कार्य करते, आसपासच्या वातावरणाशी वेफर्सचा थेट संपर्क प्रतिबंधित करते. प्रक्रिया वातावरणाची शुद्धता राखण्यासाठी आणि वेफर्सचे दूषित होण्यापासून संरक्षण करण्यासाठी हे अलगाव महत्त्वपूर्ण आहे.

SiC प्रक्रिया नळीच्या आत, वेफर हीट ट्रीटमेंट होते. यामध्ये वेफर मटेरियलचे गुणधर्म सुधारण्यासाठी आवश्यक असलेल्या एनीलिंग, ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि इतर थर्मल उपचार यासारख्या विविध प्रक्रियांचा समावेश असू शकतो. ट्यूबचे गुणधर्म, जसे की तिची उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक हल्ल्याचा प्रतिकार, एकसमान तापमान वितरण आणि वेफर्सचे संरक्षण सुनिश्चित करण्यात मदत करते.

वेफर हीट ट्रीटमेंट प्रक्रियेमध्ये SiC प्रक्रिया ट्यूब हे महत्त्वपूर्ण घटक आहेत. त्यांचा उच्च-तापमान प्रतिरोध, रासायनिक जडत्व आणि नियंत्रित वातावरण तयार करण्याची क्षमता थर्मल प्रक्रिया चरणांची यशस्वी अंमलबजावणी सुनिश्चित करते, ज्यामुळे उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर वेफर्सचे उत्पादन होते.