Sic रोबोट हात

सेमीकोरेक्स एसआयसी रोबोट हँड्स सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या क्षेत्रात रोबोटिक्स वेफर ट्रान्सफर अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले एंड-इफेक्टर्समध्ये नवीनतम आहेत. उच्च कार्यक्षमता सामग्रीसह बनविलेले, आम्ही वेफर फॅब्रिकेशन किंवा हाताळणीच्या वाढत्या कठोर वातावरणासाठी जास्तीत जास्त थर्मल टॅब्युलेशन, रासायनिक स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्य प्रदान करण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) सिरेमिक्ससह या रोबोटिक हातांना इंजिनियर केले.

आमच्या एसआयसी रोबोट हाताचे केंद्रबिंदू हे आमचे मालकीचे प्रगत आहेसिलिकॉन कार्बाईडउच्च कडकपणा (एमओएचएस 9), उच्च थर्मल चालकता आणि गंज प्रतिकार यासाठी ओळखले जाते. अ‍ॅल्युमिनियम किंवा स्टेनलेस स्टील सारख्या पारंपारिक सामग्रीच्या विपरीत, एसआयसी प्रक्रिया केलेल्या उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील वायूंसह सेमीकंडक्टर क्लीनरूमच्या कठोर प्रक्रियेच्या वातावरणाशी सुसंगत आहे. आम्ही दीर्घकालीन टिकाऊपणा ऑफर करतो आणि वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी आवश्यक असलेल्या कठोर शुद्धतेशी सुसंगत, दूषितता कमी करतो.

एसआयसी रोबोट हँड्ससह सेमीकंडक्टर उपकरणे वेफर मिळविण्यासाठी नकारात्मक दबाव सक्शन वापरतात म्हणजेच, सेमीकंडक्टर वेफर सक्शन कप तत्त्वाचा वापर करून अनुक्रमे मेकॅनिकल अ‍ॅक्शन आर्मचा वापर करून, सक्शन कप तत्त्वाचा वापर करून क्वार्ट्ज किंवा सिरेमिक बोटावर सोबत आहे.

"हाय स्पीड" आणि "स्वच्छता" ही सेमीकंडक्टर वेफर हँडलिंग उपकरणांची मुख्य वैशिष्ट्ये आहेत. ही वैशिष्ट्ये पूर्ण करण्यासाठी, वापरलेल्या घटकांच्या कामगिरीवर उपकरणांमध्ये अत्यंत कठोर आवश्यकता आहेत. बहुतेक प्रक्रिया व्हॅक्यूम, उच्च तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणात केल्या जात असल्याने, उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या हाताळणीच्या हातामध्ये उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म असणे आवश्यक आहे, जसे की: उच्च यांत्रिक सामर्थ्य, गंज प्रतिकार, उच्च तापमान प्रतिकार, परिधान प्रतिरोध, उच्च कडकपणा, इन्सुलेशन इ. आणि प्रगत सिरेमिक सामग्री केवळ या परिस्थितीची पूर्तता करू शकते.

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक्सदाट पोत, उच्च कडकपणा, उच्च पोशाख प्रतिकार, तसेच चांगले उष्णता प्रतिकार, उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य, उच्च तापमान वातावरणात चांगले इन्सुलेशन, चांगले गंज प्रतिरोध आणि इतर भौतिक गुणधर्मांचे भौतिक गुणधर्म आहेत. सेमीकंडक्टर उपकरणे हाताळण्यासाठी ही एक उत्कृष्ट सामग्री आहे.

फॅब आणि टूल उत्पादकांमध्ये रोबोटिक प्लॅटफॉर्म बदलतात हे ओळखून, आमचे एसआयसी रोबोट हात प्रमाणित आकारांच्या श्रेणीमध्ये उपलब्ध आहेत आणि अद्वितीय साधन कॉन्फिगरेशनसाठी सानुकूलित केले जाऊ शकतात. विशिष्ट उपकरणे आणि प्रक्रियेच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी माउंटिंग इंटरफेस, फिंगर भूमिती आणि वेफर समर्थन वैशिष्ट्ये तयार केली जाऊ शकतात. आपण क्लस्टर टूल्स, व्हॅक्यूम चेंबर्स किंवा फूप सिस्टममध्ये वेफर्सचे हस्तांतरण करीत असलात तरी, आमचे रोबोट हँड्स अग्रगण्य रोबोटिक्स ब्रँडसह अखंडपणे समाकलित करतात.

प्रत्येक एसआयसी रोबोट हँडमध्ये वर्ग 1 क्लीनरूमच्या मानकांचे पालन सुनिश्चित करण्यासाठी कठोर साफसफाई, तपासणी आणि पॅकेजिंग प्रक्रिया केली जाते. एसआयसीची नॉन-सच्छिद्र, अँटी-स्टॅटिक पृष्ठभाग कण आसंजन कमी करते, तर मजबूत रचना मायक्रोफ्रॅक्चरचा प्रतिकार करते ज्यामुळे कालांतराने कण पिढी होऊ शकते. हे त्यांना फ्रंट-एंड वेफर प्रक्रियेसाठी आदर्श बनवते जिथे अगदी अगदी थोड्या प्रमाणात दूषित होण्यामुळे डिव्हाइस अपयश येऊ शकते.

एपिटॅक्सी आणि आयन इम्प्लांटेशनपासून ते पीव्हीडी, सीव्हीडी आणि सीएमपी पर्यंत, एसआयसी रोबोट हँड्स सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनच्या प्रत्येक चरणात विश्वास ठेवतात. थर्मल शॉक आणि प्लाझ्मा वातावरणाचा त्यांचा उत्कृष्ट प्रतिकार त्यांना प्रगत तर्कशास्त्र आणि पॉवर सेमीकंडक्टर लाइनमध्ये अपरिहार्य बनवितो, विशेषत: जेथे एसआयसी वेफर सब्सट्रेट्स वापरल्या जातात.