Sic अनुलंब बोटी

सेमीकोरेक्स एसआयसी व्हर्टिकल बोटी इंजिनियर वेफर कॅरियर आहेत, जे उभ्या फर्नेस सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी सर्वोच्च थर्मल, मेकॅनिकल आणि रासायनिक स्थिरता प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आणि तयार केले गेले आहेत. उच्च-शुद्धतेचे बांधकामसिलिकॉन कार्बाईड, आमचा विश्वास आहे की ते अत्यंत प्रगत वेफर थर्मल प्रक्रियेसाठी सामर्थ्य, टिकाऊपणा आणि स्वच्छतेचे सर्वोत्तम संतुलन आहेत, ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, एलपीसीव्हीडी आणि अनुलंब फर्नेस सिस्टममध्ये ne नीलिंग म्हणून ओळखले जातात.

अनुलंब फर्नेस प्रोसेसिंग वातावरणात एक वेफर सपोर्ट सिस्टम आवश्यक आहे जी उच्च तापमानात वारंवार झालेल्या एक्सपोजरचा प्रतिकार करू शकते, बहुतेकदा 1,200 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त असते आणि दूषिततेच्या समस्यांशिवाय परिमाण-सिऑनली स्थिर राहते. रीक्रिस्टलाइज्ड किंवा सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईडच्या आंतरिक यांत्रिक आणि थर्मल गुणधर्मांमुळे या परिस्थितीत एसआयसी अनुलंब बोटी त्यांच्या मजबुतीमध्ये उत्कृष्ट आहेत. त्यांचे अत्यंत कमी थर्मल विस्तार गुणांक वेगवान थर्मल सायकलिंगमुळे कमीतकमी वॉरपेज किंवा विकृती सुनिश्चित करते. याव्यतिरिक्त, उच्च थर्मल चालकता, सर्व वेफर्समध्ये सर्वात मोठी स्थानिक तापमान एकरूपता प्रदान करते, जी थर जाडी, डोपिंग प्रोफाइल आणि विद्युत कामगिरीमध्ये वेफर-टू-व्हेफर सुसंगततेसाठी गंभीर आहे; सेमीकंडक्टर उद्योगातील उच्च-खंड उत्पादनाचे महत्त्वपूर्ण पैलू.

पारंपारिक क्वार्ट्ज बोटींच्या तुलनेत, एसआयसी अनुलंब बोटी उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य आणि विस्तारित सेवा जीवन देतात. क्वार्ट्ज कालांतराने ठिसूळ आणि विचलन करतात, विशेषत: आक्रमक फर्नेस केमिस्ट्रीजमध्ये, ज्यामुळे जास्त बदलण्याची शक्यता आणि संभाव्य उत्पादन व्यत्यय होतो. याउलट, क्लोरीन, एचसीएल किंवा अमोनियासारख्या संक्षारक वायूंच्या दीर्घकाळापर्यंत संपर्कानंतरही सिलिकॉन कार्बाईड आपली अखंडता राखते, जे विविध प्रसार आणि एलपीसीव्हीडी प्रक्रियांमध्ये सामान्य आहेत. त्याचा अपवादात्मक पोशाख आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक कण पिढी मोठ्या प्रमाणात कमी करते, ज्यामुळे वेफर पृष्ठभाग दूषित होण्यापासून आणि दोष तयार होण्यापासून संरक्षण करण्यास मदत होते.

एसआयसी व्हर्टिकल बोटी देखील अल्ट्रा-क्लीन प्रक्रियेच्या दृष्टीने महत्त्वपूर्ण फायदा देतात. सेमीकंडक्टर डिव्हाइसच्या ऑपरेशनल वैशिष्ट्यांसह व्यत्यय आणू शकणार्‍या ओळखण्यायोग्य ट्रेस दूषित धातू कमी करण्यासाठी उच्च-शुद्धता एसआयसी सामग्रीवर कठोर परिश्रम केले जातात. मायक्रो-कण शेडिंगची शक्यता कमी करणार्‍या उजव्या कोनात असलेल्या वैशिष्ट्यांसह एसआयसी व्हर्टिकल बोट पृष्ठभाग चांगले तयार झाले आहेत. एसआयसी पृष्ठभाग रासायनिकदृष्ट्या जड असतात आणि प्रक्रिया वायूंवर प्रतिक्रिया देत नाहीत आणि म्हणूनच ते दूषित होण्याची शक्यता कमी असतात. या संदर्भात, एसआयसी अनुलंब बोटी लाइन (एफईओएल) च्या पुढच्या टोकासाठी आणि लाइन (बीओएल) वेफर प्रोसेसिंग ऑपरेशन्सच्या मागील टोकासाठी योग्य आहेत.

एसआयसी व्हर्टिकल बोटी डिझाइनची लवचिकता देखील देतात. प्रत्येक अनुलंब बोट एकाधिक वेफर व्यास (150 मिमी, 200 मिमी किंवा 300 मिमी वेफर्स) सामावून घेण्यासाठी डिझाइन-विशिष्ट असू शकते आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी स्लॉट नंबर आणि स्पेसिंगचा वापर केला जाऊ शकतो. प्रेसिजन मशीनिंग आणि मितीय नियंत्रण योग्य वेफर संरेखन करण्यास अनुमती देते आणि लोडिंग, प्रोसेसिंग आणि अनलोडिंग दरम्यान कोणत्याही सूक्ष्म स्क्रॅच किंवा तणाव क्रॅकची शक्यता कमी करण्यासाठी वेफर समर्थन करते. तसेच, एखाद्या विशिष्ट प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट तापमान एकरूपता आणि / किंवा कमी थर्मल मास आवश्यक असल्यास, कोणत्याही यांत्रिक गुणधर्मांचा त्याग न करता ऑप्टिमाइझ्ड भूमिती आणि स्लॉट डिझाइन एसआयसी व्हर्टिकल बोट कॉन्फिगरेशनमध्ये समाविष्ट केले जाऊ शकतात.

आणखी एक फायदा म्हणजे देखभाल आणि ऑपरेशनल कार्यक्षमता. कठोर बांधकामSicअनुलंब बोटी बदलण्याची वेळ आणि वारंवारता कमी करतात, ज्यामुळे डाउनटाइम किंवा मालकीची किंमत कमी होते. एसआयसीचा थर्मल शॉक प्रतिरोध ही गरम आणि कूलिंगच्या लहान चक्रांना उत्पादन रेषांवर उच्च थ्रूपूट वितरीत करण्यास अनुमती देते. एसआयसी अनुलंब बोटींची देखभाल किंवा साफसफाई देखील अगदी सोपी आहे; सेमीकंडक्टर फॅबमध्ये सामान्य पारंपारिक ओले किंवा कोरड्या साफसफाईच्या प्रक्रियेस सामोरे जाऊ शकते जसे की ids सिडसह रासायनिक साफसफाई आणि उच्च-तापमान बेक-आउट.

अत्याधुनिक सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या या आधुनिक युगात जेथे प्रक्रियेत उत्पन्न सुधारणे, दूषित नियंत्रण आणि स्थिरता सर्व महत्त्व आहे, एसआयसी व्हर्टिकल बोटी खरा तांत्रिक फायदा देतात. ते उभ्या भट्टी अनुप्रयोगांच्या भौतिक आणि रासायनिक आव्हानांशी चांगले व्यवहार करतात आणि वेफर अखंडता, सुसंगत परिणाम आणि उपकरणांचे दीर्घ आयुष्य देऊन संपूर्ण प्रक्रिया ऑप्टिमायझेशनमध्ये योगदान देतात.