SiC वेफर बोटी

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिकपासून तयार केलेली Semicorex SiC Wafer बोट, उच्च-तापमानाच्या वातावरणात अतुलनीय कामगिरी करून सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या मागण्या पूर्ण करण्यात आघाडीवर आहे. सेमीकंडक्टर उद्योग अथकपणे मायक्रोफॅब्रिकेशनच्या सीमांना धक्का देत असल्याने, लवचिक आणि मजबूत सामग्रीची मागणी सर्वोपरि बनते.

SiC वेफर बोट थर्मल प्रक्रिया जसे की प्रसार, ऑक्सिडेशन आणि रासायनिक वाष्प संचय (CVD) दरम्यान एकापेक्षा जास्त वेफर्स ठेवण्यासाठी आणि त्यांना समर्थन देण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. या प्रक्रियांमध्ये वेफर्सना नियंत्रित वातावरणात अत्यंत उच्च तापमानात, अनेकदा 1000°C पेक्षा जास्त तापमानाचा समावेश होतो. सेमीकंडक्टर उपकरणांची गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी या थर्मल उपचारांची एकसमानता आणि सुसंगतता महत्त्वपूर्ण आहे. SiC वेफर बोटची विकृती किंवा ऱ्हास न होता अशा उच्च तापमानाचा सामना करण्याची क्षमता हे सुनिश्चित करते की वेफर्सवर एकसमान प्रक्रिया केली जाते, ज्यामुळे उपकरणांचे उत्पादन आणि कार्यक्षमता उत्कृष्ट होते.

SiC वेफर बोट्सची अपवादात्मक थर्मल चालकता सर्व वेफर्समध्ये समान उष्णता वितरणाची हमी देते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये दोष निर्माण होऊ शकणाऱ्या तापमान ग्रेडियंटचा धोका कमी होतो. शिवाय, SiC च्या थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक (CTE) गरम आणि कूलिंग सायकल दरम्यान कमीतकमी थर्मल विस्तार आणि आकुंचन मध्ये परिणाम करते. यांत्रिक ताण आणि वेफर्सचे संभाव्य नुकसान टाळण्यासाठी ही स्थिरता महत्त्वाची आहे, विशेषत: संकुचित होणाऱ्या उपकरण भूमितीसह.

थर्मल प्रक्रियेदरम्यान, वेफर्स विविध प्रतिक्रियाशील वायूंच्या संपर्कात येतात जे SiC वेफर बोटच्या सामग्रीशी संवाद साधू शकतात. SiC चे उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की ते या वायूंवर प्रतिक्रिया देत नाही, दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते आणि वेफर्सची शुद्धता सुनिश्चित करते. प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये हे विशेषतः महत्त्वपूर्ण आहे, जेथे दूषिततेचे प्रमाण देखील दोष निर्माण करू शकते आणि डिव्हाइसची विश्वासार्हता कमी करू शकते.