सिलिकॉन कार्बाईड बोटी

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाईड बोटी अपवादात्मक थर्मल स्थिरता दर्शवितात, ज्यामुळे त्यांना ऑक्सिडेशन आणि प्रसार प्रक्रियेसाठी आवश्यक असलेल्या अत्यंत तापमानाचा प्रतिकार करता येतो. त्यांचा उत्कृष्ट थर्मल शॉक रेझिस्टन्स क्रॅकिंग किंवा विकृतीचा धोका कमी करते, दीर्घकाळ ऑपरेशनल दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते. उच्च-घनता एसआयसी रचना उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य प्रदान करते, सतत थर्मल सायकलिंग अंतर्गत देखील स्ट्रक्चरल अखंडता राखते. यांत्रिक ताणतणावाचा हा अपवादात्मक प्रतिकार वेफर दूषित होण्याची शक्यता कमी करते आणि जास्त प्रक्रिया उत्पन्नास कारणीभूत ठरते. याउप्पर, एसआयसी बोटींमध्ये उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आहे, ऑक्सिडेशन आणि प्रसार चरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या आक्रमक प्रक्रिया वायूंचा उर्वरित उर्वरित. हे वैशिष्ट्य अवांछित प्रतिक्रियांना प्रतिबंधित करते जे वेफर शुद्धता आणि उत्पादन कार्यक्षमतेशी तडजोड करू शकते.

सिलिकॉन कार्बाईड बोटी प्रामुख्याने ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसमध्ये वापरल्या जातात, जेथे उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील वायूंच्या वेफर एक्सपोजरवर अचूक नियंत्रण आवश्यक आहे. ते थर्मल ऑक्सिडेशन दरम्यान उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन डायऑक्साइड थर वाढविण्यासाठी आणि डोपंट वायूंच्या नियंत्रित एक्सपोजरद्वारे एकसमान डोपिंग सुलभ करण्यासाठी वेफर्सना समर्थन देतात. याव्यतिरिक्त, ते ne नीलिंग आणि इतर उच्च-तापमान उपचारांसाठी एक स्थिर व्यासपीठ प्रदान करतात ज्यासाठी दीर्घकाळ उष्णतेच्या प्रदर्शनाची आवश्यकता असते.

पारंपारिक क्वार्ट्ज आणि ग्रेफाइट बोटींच्या तुलनेत, सिलिकॉन कार्बाईड बोटी अत्यावश्यक टिकाऊपणा, दीर्घायुष्य आणि कार्यक्षमता देतात. दूषितता कमी करताना कठोर थर्मल आणि रासायनिक वातावरणाचा प्रतिकार करण्याची त्यांची क्षमता त्यांना उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी पसंतीची निवड करते. गुणवत्ता आणि नावीन्यपूर्णतेवर लक्ष केंद्रित करून, आमच्या सिलिकॉन कार्बाईड बोटी उत्कृष्ट कामगिरी करतात, जगभरातील सेमीकंडक्टर उत्पादकांसाठी उच्च उत्पादन आणि कार्यक्षम वेफर प्रक्रिया सुनिश्चित करतात. प्रगत नोड तंत्रज्ञान किंवा लेगसी सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसाठी असो, या बोटी कठोर उद्योग आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी विश्वासार्ह समाधान प्रदान करतात.

.

(२) एकसमान हीटिंग: सिलिकॉन कार्बाईड बोट उष्णता उपचार प्रक्रियेदरम्यान आतमध्ये वेफर्सला समान प्रमाणात गरम करण्यास परवानगी देते. हे सुनिश्चित करण्यात मदत करते की वेफरच्या प्रत्येक भागाचे तापमान आणि प्रतिक्रिया दर उष्णता उपचार प्रक्रियेदरम्यान सुसंगत राहील, ज्यामुळे वेफरचे उत्पन्न आणि गुणवत्ता सुधारेल.

सध्या तीन मुख्य प्रकार आहेतसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकसाहित्य: प्रतिक्रिया सिन्टरिंग, दबाव नसलेले सिन्टरिंग आणि रीक्रिस्टलायझेशन सिन्टरिंग. बर्‍याच अनुप्रयोगांमध्ये, रिएक्शन सिन्टर्ड सिलिकॉन कार्बाईड हे अधिक योग्य आणि खर्च-प्रभावी उत्पादन आहे. रीक्रिस्टलाइज्ड एसआयसी बोटी सहसा सिन्टर आणि बर्‍याच युनिट भागांवर प्रक्रिया करतात, नंतर भाग उच्च तापमानात बोटीमध्ये एकत्र करण्यासाठी एसआय पेस्टचा वापर करा आणि शेवटी सीव्हीडी-एसआयसी कोटिंग (सुमारे 100um) लागू करा. रीक्रिस्टलायझेशन सच्छिद्र असल्याने, एसआयसी कोटिंग नसल्यास, ते सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये पार्टिकल देखील सादर करेल. सीव्हीडी-एसआयसी कोटिंगसह या प्रकारच्या पुनर्रचित एसआयसी बोटमध्ये सर्वात प्रदीर्घ उत्पादन प्रक्रिया आहे आणि ती खूप महाग आहे. एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बोटींच्या तुलनेत, सीव्हीडी-एसआयसी कोटेड रीक्रिस्टलाइज्ड एसआयसी बोटींमध्ये सीटीई जुळत नाही.