सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट

Semicorex उभ्या/स्तंभ आणि क्षैतिज कॉन्फिगरेशनसाठी वेफर बोट्स, पेडेस्टल्स आणि कस्टम वेफर वाहक प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्मचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोटचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि बहुतेक युरोपियन आणि अमेरिकन मार्केट कव्हर करते. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट, सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वेफर हाताळणी आणि संरक्षणासाठी अंतिम उपाय.
आमची सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वापरलेल्या CVD पद्धतीच्या थराने लेपित केलेल्या उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून बनविली गेली आहे, ज्यामध्ये गंज आणि उच्च तापमान आणि थर्मल शॉकसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार आहे. उच्च क्षमतेच्या वेफर वाहकांसाठी कण आणि दूषित घटक कमी करताना प्रगत सिरेमिक उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध आणि प्लाझ्मा टिकाऊपणा प्रदान करतात.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोटचे पॅरामीटर्स

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
दाब सहन करण्याची शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	नूप	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
औष्मिक प्रवाहकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मापांक	जीपीए	360	410	240

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोटची वैशिष्ट्ये

उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.