सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत सुधारणा करण्यासाठी तुमचा भागीदार आहे. आमचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज दाट, उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिरोधक आहेत, जे सेमीकंडक्टर वेफर आणि वेफर प्रक्रिया आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसह अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वापरले जातात.
सेमीकंडक्टरमधील प्रक्रियांसाठी उच्च-शुद्धता SiC सिरेमिक घटक महत्त्वपूर्ण आहेत. आमची ऑफर वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांसाठी उपभोग्य भागांपासून, जसे की सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट, कॅन्टीलेव्हर पॅडल्स, ट्यूब्स, इपिटॅक्सी किंवा MOCVD साठी.
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी फायदे
एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंग किंवा आयन इम्प्लांट यासारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशनच्या टप्प्यांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते. Semicorex उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) बांधकाम उच्च उष्णता प्रतिरोध आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता प्रदान करते.
चेंबर लिड्स →
क्रिस्टल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या चेंबरच्या झाकणांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते.
कॅन्टिलिव्हर पॅडल →
कँटिलिव्हर पॅडल हा सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: डिफ्यूजन आणि आरटीपी सारख्या प्रक्रियेदरम्यान डिफ्यूजन किंवा एलपीसीव्हीडी फर्नेसमध्ये.
प्रक्रिया ट्यूब →
प्रक्रिया ट्यूब हा एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: आरटीपी, प्रसार यांसारख्या विविध सेमीकंडक्टर प्रक्रिया अनुप्रयोगांमध्ये डिझाइन केलेले आहे.
वेफर बोट्स →
वेफर बोट सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये वापरली जाते, उत्पादनाच्या गंभीर टप्प्यात नाजूक वेफर्स सुरक्षित ठेवल्या जातात याची खात्री करण्यासाठी ती काळजीपूर्वक तयार केली गेली आहे.
इनलेट रिंग्ज →
MOCVD उपकरणांद्वारे SiC कोटेड गॅस इनलेट रिंग कंपाऊंड ग्रोथमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ज्याची अत्यंत वातावरणात स्थिरता असते.
फोकस रिंग →
सेमिकोरेक्स पुरवठा सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड फोकस रिंग RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे.
वेफर चक →
सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लॅट सिरॅमिक व्हॅक्यूम वेफर चक्स हे वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरून उच्च शुद्धतेचे SiC लेपित आहे.
सेमीकोरेक्समध्ये ॲल्युमिना (Al2O3), सिलिकॉन नायट्राइड (Si3N4), ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AIN), Zirconia (ZrO2), कंपोझिट सिरेमिक इ. मध्ये सिरेमिक उत्पादने देखील आहेत.
सेमीकोरेक्स ॲल्युमिनियम नायट्राइड इन्सुलेटर रिंग हे प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनात अपरिहार्य घटक आहेत, विशेषत: उच्च-फ्रिक्वेंसी उष्णता उपचार प्रक्रियांमध्ये. उच्च-तापमान स्थिरता, उत्कृष्ट सीलिंग गुणधर्म, अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि अंतर्निहित टिकाऊपणा यांचे अद्वितीय संयोजन त्यांना सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या मागणीच्या वातावरणात अचूक प्रक्रिया नियंत्रण, उच्च उपकरण उत्पादन आणि विस्तारित उपकरणे आयुर्मान सुनिश्चित करण्यासाठी आवश्यक बनवते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या ॲल्युमिनियम नायट्राइड इन्सुलेटर रिंग्सचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडतात.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स ॲल्युमिनियम नायट्राइड इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्स गुणधर्मांचे आकर्षक संयोजन देतात जे सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेच्या मागणीच्या गरजांसाठी त्यांना आदर्शपणे अनुकूल करतात. सुरक्षित आणि एकसमान वेफर क्लॅम्पिंग, उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन आणि कठोर प्रक्रिया वातावरणास प्रतिकार प्रदान करण्याची त्यांची क्षमता सुधारित उपकरण कार्यप्रदर्शन, उच्च उत्पन्न आणि कमी उत्पादन खर्चामध्ये अनुवादित करते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता ॲल्युमिनियम नायट्राइड इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक तयार करण्यासाठी आणि पुरवण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्ता जोडतात.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC वेफर इन्स्पेक्शन चक्स प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी महत्त्वपूर्ण सक्षम आहेत, अचूकता, स्वच्छता आणि थ्रूपुटच्या वाढत्या मागण्यांना संबोधित करतात. त्यांचे उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म संपूर्ण वेफर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेत मूर्त फायद्यांमध्ये अनुवादित करतात, शेवटी उच्च उत्पन्न, सुधारित उपकरण कार्यप्रदर्शन आणि कमी एकूण उत्पादन खर्चात योगदान देतात. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC Wafer Inspection Chucks चे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडतात.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोटिक आर्म, ज्याला वेफर हँडलिंग सिरेमिक रोबोटिक आर्म किंवा सिरेमिक सिलिकॉन वेफर हँडलिंग फोर्क म्हणून देखील ओळखले जाते, हा उच्च-कार्यक्षमता सेमीकंडक्टर उपकरण घटक आहे. त्याची रचना अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या कठोर आवश्यकता लक्षात घेते. उच्च तापमान प्रतिकार, पोशाख प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता आणि उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुणधर्मांसह, ॲल्युमिना सिरॅमिक आर्म जागतिक सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात न बदलता येणारी भूमिका बजावते. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोटिक आर्म उत्पादन आणि पुरवण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबचे प्रगत भौतिक गुणधर्म, ज्यामध्ये उच्च लवचिक सामर्थ्य, उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन आणि गंज प्रतिकार, उच्च पोशाख प्रतिरोध, कमी घर्षण गुणांक, उच्च-तापमान यांत्रिक गुणधर्म आणि अति-उच्च शुद्धता, याला अर्धसंवाहक उद्योगात अपरिहार्य बनवते. , विशेषतः प्रसार भट्टी अनुप्रयोगांसाठी. आम्ही Semicorex येथे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जे किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्तेला जोडते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवाउच्च-गुणवत्तेच्या सामग्री गुणधर्मांसह, सेमिकोरेक्स SiC डिफ्यूजन बोट ऑपरेशनल पॅरामीटर्सच्या विस्तृत स्पेक्ट्रममध्ये इष्टतम कार्यक्षमतेचे प्रतिनिधित्व करते: कडकपणा, लवचिकता आणि थर्मल आणि रासायनिक प्रतिकार इ. ही सामग्री निवड दूषित होण्याचे धोके कमी करण्यासाठी, वेफर्सचे संरक्षण करण्यासाठी आणि टिकून राहण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेमध्ये उपस्थित असलेल्या परिस्थितीची मागणी आहे. सेमिकोरेक्स येथे आम्ही उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC डिफ्यूजन बोटीचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यासाठी समर्पित आहोत जी किमती-कार्यक्षमतेसह गुणवत्ता जोडते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवा