चीन सिरॅमिक उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत सुधारणा करण्यासाठी तुमचा भागीदार आहे. आमचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज दाट, उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिरोधक आहेत, जे सेमीकंडक्टर वेफर आणि वेफर प्रक्रिया आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसह अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वापरले जातात.

सेमीकंडक्टरमधील प्रक्रियांसाठी उच्च-शुद्धता SiC सिरेमिक घटक महत्त्वपूर्ण आहेत. आमची ऑफर वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांसाठी उपभोग्य भागांपासून, जसे की सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट, कॅन्टीलेव्हर पॅडल्स, ट्यूब्स, इपिटॅक्सी किंवा MOCVD साठी.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी फायदे

एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंग किंवा आयन इम्प्लांट यासारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशनच्या टप्प्यांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते. Semicorex उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) बांधकाम उच्च उष्णता प्रतिरोध आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता प्रदान करते.

चेंबर लिड्स →
क्रिस्टल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या चेंबरच्या झाकणांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते.

कॅन्टिलिव्हर पॅडल →
कँटिलिव्हर पॅडल हा सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: डिफ्यूजन आणि आरटीपी सारख्या प्रक्रियेदरम्यान डिफ्यूजन किंवा एलपीसीव्हीडी फर्नेसमध्ये.

प्रक्रिया ट्यूब →
प्रक्रिया ट्यूब हा एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: आरटीपी, प्रसार यांसारख्या विविध सेमीकंडक्टर प्रक्रिया अनुप्रयोगांमध्ये डिझाइन केलेले आहे.

वेफर बोट्स →
वेफर बोट सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये वापरली जाते, उत्पादनाच्या गंभीर टप्प्यात नाजूक वेफर्स सुरक्षित ठेवल्या जातात याची खात्री करण्यासाठी ती काळजीपूर्वक तयार केली गेली आहे.

इनलेट रिंग्ज →
MOCVD उपकरणांद्वारे SiC कोटेड गॅस इनलेट रिंग कंपाऊंड ग्रोथमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ज्याची अत्यंत वातावरणात स्थिरता असते.

फोकस रिंग →
सेमिकोरेक्स पुरवठा सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड फोकस रिंग RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे.

वेफर चक →
सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लॅट सिरॅमिक व्हॅक्यूम वेफर चक्स हे वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरून उच्च शुद्धतेचे SiC लेपित आहे.

सेमीकोरेक्समध्ये ॲल्युमिना (Al2O3), सिलिकॉन नायट्राइड (Si3N4), ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AIN), Zirconia (ZrO2), कंपोझिट सिरेमिक इ. मध्ये सिरेमिक उत्पादने देखील आहेत.