अपरिहार्य वेफर-वाहक भाग म्हणून, सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स विशेषत: सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वेफर्स सुरक्षितपणे पकडण्यासाठी, समर्थन देण्यासाठी आणि हस्तांतरित करण्यासाठी, विशेषत: अचूक उष्णता उपचार प्रक्रियेत तयार केल्या जातात. सेमिकोरेक्स, चीनमधील उद्योग-अग्रणी कंपनी, उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स वितरीत करण्यासाठी वचनबद्ध आहे जे वेफर उत्पादन आणि कार्यक्षमता वाढवते.
सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकचे उत्कृष्ट गुणधर्मवेफर बोटीउच्च दर्जाच्या कच्च्या मालाचे श्रेय आहे. सेमीकंडक्टर-ग्रेड SiSiC सामग्रीपासून बनविलेले आणि CVD SiC कोटिंगने झाकलेले, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट खालील उत्कृष्ट गुणधर्म प्रदर्शित करतात.
सब्सट्रेट अशुद्धता: ~100 पीपीएम
CVD SiC कोटिंग अशुद्धता: ~1 पीपीएम
सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स 1250 ℃ उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत स्थिरपणे कार्य करण्यास सक्षम आहेत, कमीतकमी विकृती आणि रेंगाळणे प्रतिकार प्रदान करतात.
सिलिकॉन कार्बाइडउच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकता आहे, सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स स्क्रॅच, ओरखडे आणि नुकसानास प्रतिकार करण्यास सक्षम करतात, अशा प्रकारे दीर्घकालीन ऑपरेशन दरम्यान चांगली कामगिरी करतात आणि नुकसानास प्रतिरोधक असतात.
सिलिकॉन कार्बाइड मजबूत ऍसिडस् आणि क्षारांपासून गंजण्यास प्रतिरोधक असल्यामुळे, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स अत्यंत संक्षारक कार्य परिस्थितीतही त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि कार्यक्षम कार्यक्षमता राखू शकतात.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स बॅच वेफर प्रक्रियेसाठी डिझाइन केल्या आहेत, त्यांचे ऑप्टिमाइझ केलेले संरचनात्मक फ्रेमवर्क प्रत्येक वेफरसाठी स्थिर बॅच वेफर सपोर्टिंग आणि सातत्यपूर्ण प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट्सची उभी रचना त्यांना अनुलंब भट्टीच्या अनुप्रयोगांशी अखंडपणे जुळण्यास सक्षम करते. या संरचनेसह, एमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स उच्च-तापमान भट्टीमध्ये प्रक्रिया वायूंचे एकसंध अभिसरण आणि थर्मल उर्जेचे एकसमान वितरण सुलभ करू शकतात.
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स त्यांच्या सपोर्ट पोस्टवर अनेक अचूक-मशीन स्लॉट पिंचसह सुसज्ज आहेत. त्यांच्या समान अंतरावरील स्लॉट पिंच योग्य स्लॉट अंतर मिळवतात, ज्यामुळे सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स सेमीकंडक्टर वेफर्स घट्टपणे सुरक्षित ठेवता येतात, ज्यामुळे वेफर थर्मल प्रोसेसिंग परिणामांची सुसंगतता सुधारण्यास हातभार लागतो.
अनेक उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि कार्यांसह, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स मोठ्या प्रमाणात सेमीकंडक्टर वेफर उत्पादनाच्या मुख्य प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जातात, जसे की ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, आयन इम्प्लांटेशन आणि उच्च-तापमान ॲनिलिंग.